KLA משדרגת את התשתיות בארץ בכ-100 מיליון שקל

30 מרץ, 2014

חברת KLA מפתחת טכנולוגיות מפתיעות לבדיקת מוליכים למחצה ברזולוציה של פחות מעשירית ננומטר. הכפילה את מספר העובדים בישראל ומגייסת פיסיקאים עבור פרוייקטי הפיתוח החדשים

עמי אפלבום: "נתח המטרולוגיה רק הולך וגדל בתעשיית המוליכים למחצה"

KLA-ISRAEL-HQ

חברת KLA-Tencor מרחיבה את היקף פעילותה בישראל. בימים אלה החברה מבצעת פרוייקט שידרוג של כל התשתיות שלה בהיקף של יותר מ-100 מיליון שקל. במסגרת זאת היא משפצת את כל הבניינים במיתחם החברה במגדל העמק, והכפילה את שטח החדרים הנקיים ליותר מ-4,000 מ"ר. הפרוייקט צפוי להסתיים בתוך 12-15 חודשים.

KLA Tencor Israel Robotics
נשיא קלא-טנקור ישראל, ד"ר עמי אפלבום

נשיא ומנכ"ל חברת KLA Tencor ישראל, ד"ר עמי אפלבום, סיפר ל-Techtime שפרוייקט שידרוג המתקנים כולל בניית יכולות שיאפשרו לחברה לפתח שיטות בדיקה תת-ננומטריות עבור שבבים הצפויים להיכנס לייצור בתעשייה בעוד 2-6 שנים.

חברת KLA היא מהחברות המובילות בעולם בתחום מערכות הבדיקה של תהליכי ייצור בתעשיית המוליכים למחצה, ובשנת 2013 הסתכמו מכירותיה בכ-2.8 מיליארד דולר. החברה מתמקדת בשתי קבוצות מוצר עיקריות: Wafer Inspection ומטרולוגיה.

מערכות Wafer Inspection משמשות בעיקר לבדיקה ויזואלית של פרוסות הסיליקון בקו הייצור כדי לוודא שאין בהן זיהומים, שהייצור אחיד, העובי תקין וכדומה. מערכות מטרולוגיה מבצעות מדידות מדוייקות של שלבי הייצור, כמו למשל עובי השכבות השונות, עובי המוליכים, רוחב השער בטרנזיסטור, המבנה שלו וכדומה.

התעשייה הישראלית המצליחה ביותר

תחום המטרולוגיה הוא כמעט מנדט ישראלי: להערכת אפלבום, כשליש מהייצור העולמי של מערכות מטרולוגיה נעשה בישראל. גם ב-KLA רוב מערכות המטרולוגיה מיוצרות בישראל, וכמחצית מהמחקר והפיתוח בתחום נעשים בארץ. התוצאה היא שהפעילות בארץ תופסת תנופה, שכן המעבר בשנתיים האחרונות לתהליכים של 28 ו-22 ננומטר יצרו צורך גובר והולך בפתרונות מטרולוגיה חדשים.

אפלבום: "משנת 2010 ועד היום הכפלנו את מספר העובדים מכ-250 ליותר מ-500, רובם מדענים, מהנדסי פיתוח ומהנדסי ייצור. בנוסף, על כל אדם אצלנו אנחנו מספקים עוד שלוש משרות במשק אצל ספקים, קבלני משנה ונותני שירותים. אם בעבר התמקדנו בגיוס מהנדסים, כיום אנחנו קולטים הרבה מאוד פיסיקאים. כבר היום אנחנו מעסיקים יותר מ-38 מדענים בעלי תואר דוקטור ויותר מ-90 חוקרים בעלי תואר שני, רובם בתחום הפיסיקה".

מדוע אתם מתמקדים בפיסיקאים?

"יצרניות השבבים הגדולות עובדות היום על פיתוח טכנולוגיות ייצור בתהליכים של של 10 ננומטר ו-7 ננומטר. אבל כאשר רוצים לבדוק טרנזיסטור של 7 ננומטר, צריכים להשיג רגישות בדיקה של עשירית מזה לפחות. כלומר פחות מ-1 ננומטר. במצב כזה צריך לפתח טכנולוגיות חדשות שאינן מוכרות ונמצאות בחזית המדע".

כיצד מתמודדים עם האתגר?

"צריך לזכור בשברמה התת-ננומטרית אתה כבר לא יכול לראות את האובייקט הנימדד. האסטרטגיה שלנו היא ללכת לכוון של ספקטרומטריה, לקבל מעין טביעות אצבעות של השבב. מדובר בטכניקות המתחילות להידמות לקריסטלוגרפיה. בטכניקות כאלה ניתן לזהות את מבנה האטומים מבלי לראות אותם. לקבל אינדיקציה גם למבנה של פני השטח בשבב וגם להרכב השכבות ולטופוגרפיה שלהן.

עמי אפלבום (מימין) מראה למדען הראשי אבי חסון את אחד מהחדרים הנקיים החדשים
מנהל הפיתוח של KLA, אורי תדמור (מימין), מראה למדען הראשי אבי חסון את אחד מהחדרים הנקיים החדשים

"למעשה אנחנו חוקרים את האופטיקה, האלגוריתמיקה ומערכות הבקרה שצריכות לשלוט על רזולוציה תת-ננומטרית. צריך מקורות אור מיוחדים בעלי רמת בהירות כמעט כמו של השמש. יכולת הובלת האור, מיקוד ושימוש באופטיקה מאוד שקטה – נטולת הפרעות ועיוותים. אנחנו בודקים אורכי-גל של Deep-UV ואינפרא-אדום, זקוקים לפתח סנסורים שיידעו לאסוף את המידע ולהפעיל אלגוריתמיקה סופר-חכמה, שתדע לנקות את הרעשים ממערכות המדידה".

יש שוק להשקעה כל-כך גדולה?

"יצרניות השבבים לא יכולות לעבור לטכנולוגיית ייצור חדשה לפני שהן יודעות שחברות כמו שלנו יכולות לספק להן את מערכות המדידה והבדיקה. לכן הן עובדות צמוד מאוד אלינו ויש שיתוף פעולה איתן כבר בשלבי הפיתוח הראשונים של טכנולוגיות הייצור.

"בנוסף למיזעור, התעשייה מאמצת טכנולוגיות ייצור תלת-מימדיות (דוגמת טרנזיסטורי FinFET) הדורשות מאיתנו יכולות בדיקה ברמות שלא היו קודם. הם משקיעים יחסית יותר כסף בבקרת התהליך מאשר אי-פעם בעבר, וישקיעו עוד יותר בעתיד. המטרולוגיה בודקת את איכות הליתוגרפיה בקו הייצור, והליתוגרפיה היא המרכיב היקר ביותר בתהליך ייצור שבבים. לכן נתח המטרולוגיה רק הולך וגדל בתעשיית המוליכים למחצה".

Share via Whatsapp

פורסם בקטגוריות: חדשות , ייצור וקבלנות משנה , סמיקונדקטורס , תעשייה ישראלית

פורסם בתגיות: featured