Orbotech SPTS ופראונהופר יפתחו מארזי שבבים צפופים

15 ינואר, 2015

מכון פראונהופר בגרמניה ישתמש בציוד עיבוד הסיליקון של חברת SPTS הבריטית, אשר נירכשה השנה על-ידי Orbotech תמורת 371 מיליון דולר, כדי לפתח טכנולוגיות למרזי שבבים מסוג 2.5D/3D-IC

מכון פראונהופר בגרמניה ישתמש בציוד עיבוד הסיליקון של חברת SPTS הבריטית, אשר נירכשה השנה על-ידי Orbotech תמורת 371 מיליון דולר

SPTS

חברת SPTS הנמצאת בבעלות Orbotech החלה שיתוף פעולה עם מכון המחקר הגרמני Fraunhofer IZM בפיתוח דור חדש של מארזי שבבים ברמת הסיליקון. סגן נשיא אורבוטק ונשיא חברת SPTS, קווין קרופטון, אמר שהדרך להתמודד היום עם הדרישות של רכיבי העתיד הצפופים, מסוג 3D-IC, היא באמצעות חיבוריות ישירות דרך הסיליקון (through silicon vias). "המטרה שלנו ושל מכון פראונהופר היא לפתח טכניקות לייצור זול של מארזי שבבים צפופים, עבור רכיבי 2.5D ו-3D-IC".

במסגרת המחקר שיתבצע, פראונהופר תשתמש במודול החיתוך של SPTS, כדי לייצר מגוון של מבנים בתוך הסיליקון, כמו למשל נקבים עמוקים, הטמעת מוליכים אנכיים לקישור חשמלי של פיסות סיליקון שונות (TSV). בנוסף, ייעשה שימוש בציוד של SPTS לגילוף שכבות סיליקון מהשבב, תהליך נעשה לצורך השגת מטרות שונות, כמו למשל שחרור לחצים מכניים, ייצור מוליכי TSV, חשיפת מוליכי TSV משוקעים, ועוד.

חברת SPTS מסרה שמכון המחקר הגרמני החליט להשתמש בפלטפורמת Versalis fxP מתוצרתה, מכיוון שהיא מאפשרת לבצע מספר תהליכי ייצור שונים בתוך מערכת אחת: גם תהליכי יצור תבניות בטכניקת Deep reactive-ion etching, וגם תהליכי ייצור מבנים סיליקוניים בטכנולוגיית Chemical vapor deposition. מדובר בשתי טכניקות ייצור מבוססות מאוד של מבנים זעירים, כמו למשל רכיבי MEMS ורכיבים המיוצרים בשיטת סרט דק.

חברת SPTS הבריטית המייצרת מערכות איכולׁ (etch), שיקוע גאזים (deposition), ועיבוד תרמי לתעשיית המוליכים למחצה. אורבוטק רכשה אותה בחודש אוגוסט 2014 תמורת 371 מיליון דולר, במטרה להיכנס לשוק הצומח של מארזי שבבים מתקדמים. מדובר בעיקר במארזים הכוללים כמה פיסות סיליקון המשולבות על-גבי פיסות סיליקון אחרות או מעגלי מודפסים היפר-צפופים, ומשווקים ביחד בתוך רכיב בודד.

הרכיבים המופיעים במארזים אלה מכונים לעתים 2.5D-IC ולעתים 3D-IC. מכון פראונהופר מקדיש מאמץ רב בתחום. הוא מפתח טכניקות להנחת פיסות סיליקון אחת על-גבי השנייה בדיוק של 3 מיקרון, ופיתח שיטה המאפשרת להניחעד 10 שכבות אחת על-גבי השנייה.

Share via Whatsapp

פורסם בקטגוריות: חדשות , ייצור וקבלנות משנה , סמיקונדקטורס