מאגד השבבים MDM יתחיל לפעול בסוף חודש יולי

27 אפריל, 2017

המאגד הוקם ביוזמת חברת אפלייד מטיריאלס ישראל. יו"ר המאגד יהיה יורם עוזיאל, מנהל הטכנולוגיה של חטיבת PDC באפלייד. חברת Dell EMC הצטרפה למאגד ותוביל את קבוצת ה-Deep Learning

Share via Whatsapp

מאגד השבבים הישראלי MDM – Multi Dimensional Metrology, יתחיל לפעול בחודש יולי השנה. כך נודע ל-Techtime. רשות החדשנות כבר אישרה את הקמת המאגד וכעת מתנהלים הדיונים האחרונים על תקציב המאגד. המאגד החדש יעסוק בפיתוח טכנולוגיות מדידה ובקרת תהליכים בתעשיית השבבים, המבוססות על היתוך מידע המגיע ממקורות רבים. המאגד הוקם ביוזמת חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials) ויו"ר המאגד יהיה יורם עוזיאל (בתמונה למעלה), מנהל הטכנולוגיות ב-PDC, שהיא חטיבת המטרולוגיה של אפלייד מטיריאלס.

פרטים ראשוניים על המאגד החדש נמסרו במהלך מפגש של אנשי טכנולוגיה בכירים בתעשיית המטרולוגיה הישראלית, שהתקיים השבוע במשרדי חברת נובה מכשירי מדידה (Nova) ברחובות. המדינה צפויה להשתתף בכ-66% מתקציב הפעלת המאגד באמצעות רשות החדשנות, והוא מתוכנן לפעול במשך 3-5 שנים.

היתוך מידע בתוך הפאב

טרניסטור FinFET

במאגד החדש ישתתפו חברות מובילות בתחום בקרת תהליכים כדוגמת ברוקר (Bruker שרכשה את Jordan Valley הישראלית) ונובה, חברת Dell EMC, חברת Nanonics המובילה בפתרונות מדידה באמצעות מיקרוסקופיה אטומית, חברת Nanomotion המפתחת מערכות שינוע בדיוק ננומטרי, חברת XWINSYS המפתחת ציוד מדידה לשלבים אחרונים קריטיים של קו הייצור וחברת EL-MUL מנס-ציונה המייצרת גלאים לתעשיית הננו-אלקטרוניקה. מהצד האקדמי ישתתפו במאגד קבוצות מחקר מהטכניון, האוניברסיטה העברית, אוניברסיטת תל-אביב, מכון וייצמן, אוניברסיטת בר-אילן ואוניברסיטת בן-גוריון שתספק גם שירותי בנייה של מבנים ננומטריים.

עוזיאל הגדיר את תחומי העיסוק של המאגד כ-Multi Dimensional Metrology, כדי לבטא את הרעיון שיש צורך כיום לשלב מקורות מידע מסוגים שונים, המגיעים ממכשירי מדידה שונים, כדי להתגבר על מגבלות הדיוק, האיפיון והרזולוציה של השבבים החדשים שייצאו לשוק בשנים הקרובות. התעשייה היום מתמודדת עם מספר אתגרים קשים חדשים. תהליך מזעור השבבים שיגיע לשיאו בגיאומטריה של 5 ננומטר, והמעבר לבניית מבנים תלת-מימדיים מייצר בעיות קשות הדורשות מענה טכנולוגי מסוג חדש.

בעיית יציבות וחומרים

המיזעור למשל, מייצר אתגרים רבים. כדי למדוד קווי ייצור של 7 ננומטר ו-5 ננומטר, יש צורך לקבל תמונה ברזולוציה של 1 ננומטר. יורם עוזיאל: "כאשר אתה צריך לבצע צילום הנמשך כמה דקות ולקבל תמונה ברזולוציה של 1 ננומטר, יש ליציבות של מכשיר המדידה השפעה גדולה מאוד על איכות התמונה. אנחנו צריכים להתמודד עם כל הגורמים המשפיעים על הכיול של המכשירים ועל היציבות שלהם. אחת האפשרויות למשל היא לפתח אלגוריתמים המאפשרים ליישם מערך שיכוך אקטיבי".

בעיה נוספת קשורה לחומרים: להערכת מנהל תחום שיתופי הפעולה הטכנולוגיים בחברת Nova, שמואל מירוני, "בשנה האחרונה התעשייה נמצאת בתהליך שינוי. היא עוברת משימוש ב-18 חומרים בתהליכי הייצור של השבבים, לשימוש ב-46 חומרים שונים בתוך השבב. הדבר מייצר אתגרי מטרולוגיה חדשים, מכיוון שהחומרים החדשים מגיבים לאור באופן שונה זה מזה". בין השאר, המאגד יפתח טכנולוגיות לזיהוי חומרים באמצעות קרינת האור המוחזרת מהם.

חיפוש אחר שיטות מדידה חדשות

אחד מהאתגרים הקשים ביותר הניצבים כיום בפני תעשיית המטרולוגיה והמדידות הוא המעבר של היצרנים לייצור במבנים תלת-מימדיים. הבעיה היא שיש צורך לבצע מדידות של מבנים עמוקים מאוד, ובעתיד הקרוב של מבנים חבויים מתחת למבנים אחרים. הדבר דורש שימוש באורכי גל חדשים ושיטות מדידה חדשות. בהם: מיקרוסקופים אלקטרוניים מסוג חדש, מיקרוסקופים בטכנולוגיית Atomic Force Microscope, קרינת אור באורכי גל קצרים מאוד, הישענות על הדמיות המבוססות על משוואות מקסוול לסימולציה של קרינה אלקטרומגנטית, ועוד.

אתגר נוסף קשור לבעיית עיבוד המידע: על-פי ההערכה בתעשייה, כמות המידע בפאב צומחת פי 10 בכל עשור ומורכבות האלגוריתמים גדלה פי 20. כלומר, יש צורך באסטרטגיות עיבוד חדשות, ולכן חברת Dell EMC הצטרפה למאגד כדי להשתתף בפיתוח טכנולוגיות בינה מלאכותית לתחום הזה. מבחינת רשות החדשנות מדובר במאגד חשוב: ישראל מחזיקה בכשליש מהשוק העולמי של מערכות מטרולוגיה ובקרת ייצור שבבים, ויש חשיבות לאומית בשמירה על מעמדה בתחום מרכזי הנמצא בצמיחה.

פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית