אפלייד מטיריאלס ישראל מפתחת טכנולוגיית מדידה תת-ננומטרית

16 יולי, 2017

יורם עוזיאל: "הקמנו קבוצות פיתוח חדשות בתחומים של עיבוד תמונה המבוסס על למידת מכונה, שינוע פרוסות סיליקון ברמת דיוק ננומטרית ופיתוח פלטפורמות מיחשוב חדשות ברמת ביצועים של מחשבי-על"

Share via Whatsapp
Yoram Uziel Applied Materials Israel PDC Division

חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials) נכנסת לפרוייקט פיתוח רב-מערכתי שנועד להביא ליצירת טכנולוגיות חדשות עבור מכונות הבדיקה בקווי הייצור של שבבים עתידיים, אשר ייוצרו בגיאומטריה קטנה מ-7 ננומטר. במסגרת הפרוייקט הזה, החברה נמצאת בתהליך של גיוס עובדים רחב היקף ושל בניית קבוצות מחקר בתחומים חדשים. דירקטור טכנולוגיות חדשות ב-PDC, יורם עוזיאל (בתמונה למעלה), סיפר ל-Techtime שהשינויים המתחוללים כיום בתחום ייצור המוליכים למחצה, דורשים שימוש בטכנולוגיות מדידה חדשות, החל מרמת החיישנים וכלה ברמת האלגוריתמים.

מה הן הפעילויות החדשות?

עוזיאל: "הקמנו מספר קבוצות פיתוח חדשות בתחומים של עיבוד תמונה המבוסס על למידת מכונה. נפתחו פרוייקטים חדשים בתחום מערכות השינוע של פרוסות סיליקון ברמת דיוק ננומטרית כדי לשפר את איכות המדידות והוקמו קבוצות לפיתוח פלטפורמות מיחשוב חדשות בתחומי האלגוריתמים, טיפול בכמויות מידע גדולות מאוד ופיתוח חומרה ברמת ביצועים של מחשבי-על".

מדוע יש צורך בחידוש כל-כך מקיף של טכנולוגיות המדידה בפאב?

"במימדי טרנזיסטור של פחות מ-7 ננומטר יש צורך ברמת דיוק של עשירית ננומטר לפחות. הדבר הזה מייצר דרישות מיוחדות ממערכות המדידה כולל התמודדות עם כמויות מידע גדולות מאוד. בנוסף, מתחוללים שינויים גם במבנה המוליכים למחצה ובתהליכי הייצור שלהם, הדורשים פיתוח טכנולוגיות חדשות לגמרי. כך למשל, התעשייה נמצאת בשלבי מעבר למבנים תלת-מימדיים. כיום כבר מדובר על מבנים בעלי מאות שכבות, שבהם יהיה צורך לבצע מדידות של שכבות סמויות בתוך מבנים עמוקים מאוד. המאמץ הזה יאפשר לנו להוציא דור חדש של מכונות שיבצעו הדמייה תת-שכבתית במבנים תלת ממדיים גבוהים ובעלי שכבות סמויות רבות".

חומרים חדשים מייצרים בעיות חדשות

Applied Materials UVision System
מערכת בדיקת פרוסות סיליקון UVision 7 שפותחה ומיוצרת בישראל

"כבר היום אנחנו מתחילים לראות סוגים חדשים של פגמים הקשורים למיזעור של הרכיבים. אחד מהם, למשל, הוא דיוק המיקום ההדדי של השכבות בשבב. בעבר הדיוק נקבע על-ידי תהליך הליתוגרפיה, אולם ברכיבים החדשים הוא מושפע גם מתהליכים כימיים, כמו איכול, המייצרים שגיאות מיקום. כדי לאתר את כל מגוון התקלות, אנחנו צריכים לפתח דרכים למדוד אותן בצורה מדוייקת ולקשור אותן אל מכונות הייצור, כדי שנוכל להמליץ על שינויים בתהליך כדי לתקן את התקלות".

"החומרים החדשים יוצרים בעיות חדשות. על-פי הערכות בתעשייה, רק בשנה האחרונה נוספות יותר מ-30 חומרים חדשים לתהליך ייצור השבבים, והתהליך הזה צפוי להימשך ביתר שאת בשנים הבאות. להערכת עוזיאל, יש צורך בשיטות חדשות כדי למדוד את תכונות המצב של החומרים החדשים, כמו למשל, מתח פנימי וחלקות המשטח, אשר משפיעים על היכולת לבנות עליהם שכבות נוספות. "אנחנו נדרשים לבצע איפיון ומדידה של מצב החומרים החדשים ולצורך זה יש צורך בפיתוח שיטות הדמייה חדשות שיידעו לנטר את התכונות הכימיות והפיסיקליות של השכבות הדקות האלה. במימדים של פחות מ-7 ננומטר יש שכבות שהגובה שלהן הוא של אטום יחיד. במקרים כאלה לטיב המשטח ולמתיחות שבו יש השפעה על טיב השבב, ואותם צריך למדוד".

מה אתם עושים בתחום המיחשוב?

"ככל שיורדים במידות הטרנזיסטור, כמות המידע גדלה בצורה מעריכית. הקמנו קבוצות תוכנה המפתחות פתרונות לטיפול בכמויות מידע גדולות מאוד וקבוצות לפיתוח אלגוריתמים לקבלת החלטות מדוייקות בזמן אמת. מכונות לבקרת תהליכים צריכות להיות אמינות, מהירות ומדוייקות. במקביל, אנחנו מפתחים ובונים מחשב ייעודי המבוסס על שימוש במספר ארכיטקטורות מחשוב שונות, ומעבדים מסוגים שונים, באותה מכונה. מדובר במחשב תפור לצורכי ההדמייה שבו החומרה מותאמת לאלגוריתם ולסנסורים של המכונה. אנחנו גם בונים את מערך הזיכרון של המחשב, כדי לאפשר גישה מהירה אל כמויות גדולות מאוד של מידע. למעשה, אנחנו בונים מחשב הדמייה שלם עבור מכונות בקרת התהליכים החדשות".

פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה