אפלייד מטיריאלס ו-Magma ישלבו קבצי CAD במערכות בדיקת שבבים
3 מרץ, 2011
הרעיון הוגדר לראשונה במאגד IMG-4 הישראלי, אשר חיפש פתרונות חדשים להאצת תהליך הבדיקה ושיפור יעילות הייצור. שיתוף הפעולה מובל על-ידי אפלייד מטיריאלס ישראל, שעמדה בראש מאגד IMG-4
הרעיון הוגדר לראשונה במאגד IMG-4 הישראלי, אשר חיפש פתרונות חדשים להאצת תהליך הבדיקה. שיתוף הפעולה מובל על-ידי אפלייד מטיריאלס ישראל, שעמדה בראש מאגד IMG-4
אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) ומאגמה (MAGMA Design Automation), הכריזו אתמול (ד') על שיתוף פעולה בשילוב מערכות איתור הפגמים בייצור שבבים של אפלייד, ביחד עם תוכנות CAD Based Navigation ושיפור תפוקת ייצור הששבים של מאגמה.
ההסכם מובל על-ידי חטיבת המטרולוגיה של אפלייד מטיריאלס המנוהלת מישראל.
שיתוף הפעולה יתבסס על שילוב של שלד תוכנת Excalibur-Litho במכונות הבדיקה של אפלייד מטיריאלס, ויפעל בשלב הראשון במערכות בדיקת ייצור שבבים בגיאומטריה של 45 ננומטר. ההתקנה הראשונה של המערכת המשולבת בוצעה לא מזמן במפעל ייצור של Globalfoundries , והיא הביאה לירידה מהותית בכמות הפגמים ולעלייה בתפוקה הכוללת של המפעל.
גישה חדשה
המטרה היא להתגבר על הקושי הגובר להגיע לשיעור גבוה של שבבים תקינים, עם הירידה המהירה במימדי הרכיבים. השפעות הדדיות שאינן ניתנות לחיזוי מוקדם בין מערך הייצור לבין הסידור הגיאומטרי של הטרנזיסטורים בשבב, יכולות לגרום להדפסת איזורים בשבב שאינם תואמים לכוונת המתכננים.
מכונות הבדיקה של אפלייד מזרימות מרצפת הייצור את הנתונים המצטברים על פגמים שהתגלו בייצור. הצלבת נתונים אלה עם קבצי התכן המקוריים, מאפשרת לאתר במהירות חלק מהגורמים לתקלות ולתקנן. בנוסף, שילוב זה יאפשר להזין את מתכנני השבב בתבניות בעייתיות, לצורך מניעה כבר בשלב התכנון של התפתחות פגמים דומים במוצרים עתידיים.
הרעיון המקורי לשילוב בין מכונות הבדיקה לבין קבצי ה-CAD שבהם מתוכנן השבב, הוגדר במסגרת המאגד הישראלי IMG-4 בהשתתפות חברות תעשייתיות ואקדמיה ובמימון חלקין של משרד התמ"ת. את המאגד ניהל יורם עוזיאל המשמש כדירקטור לטכנולוגיות חדשות בחברת אפלייד מטיריאלס בישראל. המאגד ניתח את הקשיים המרכזיים בתהליכי בדיקות השבבים במהלך הייצור, והציג מזפר פתרונות. אחד מהם היה שילוב של קובץ ה-CAD בתהליך הבדיקה.
אלגוריתם "נהג המונית"
בראיון ל-Techtime סיפר עוזיאל שהגישה הבסיסית היתה "שיש צורך בהבאת מידע נוסף למערכות הבדיקה. מכאן הגענו למסקנה שמערכת הבדיקה צריכה לקבל את קובץ ה-CAD שבו תוכנן השבב. זה היה בניגוד למגמה בתעשייה, שהתמקדה בעיקר באלגוריתמים חזקים וחכמים יותר. החידוש הזה איפשר למאגד לרשום פטנט על אלגוריתם המוכר בשם Taxi Driver Navigation, אשר מנתח את קובץ ה-CAD ומאפשר למכשיר להגיע לנקודות הבדיקה הדרושות בתוך השבב. ממש כמו שנהג מונית מאלתר דרכים שונות כדי להגיע במהירות אל הלקוח הנכון".
במקביל, המאגד הגדיר שכבות מידע נוספות: "הוספנו ידע שניצבר על-ידי עובדים מנוסים אשר הכירו תקלות שונות בייצור. הידע הזה קיבל עיבוד מתימטי ושימש ליצירת אלגוריתם המאפשר לבצע סיווג אוטומטית של תקלות. קבוצה של כ-8 חוקרים בתחום הבינה המלאכותית פיתחה אלגוריתם נוסף, המאפשר למכונה לעבד את המידע המגיע מה-CAD באופן שבו היא יכולה לאתחל את עצמה באופן אוטומטי.
"התוצאה היתה מערכת כלים המאפשרת למערכות בדיקה לקבל קובץ CAD ולבצע איתחול עצמי (Recipe Creation) הכולל כיוונון פרמטרים ובחירה בשילוב המוצלח ביותר של ערכים שונים, כמו למשל מיקוד ותאורה".
עוד על מאגד IMG-4: "תנו לי את קובץ ה-CAD"
פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית
כתבות נוספות העשויות לעניין אותך
