ג'ורדן ואלי: הזמנת המשך גדולה למכונות בדיקה מבוססות רנטגן
22 יוני, 2011
מערכות בדיקת הרנטגן של החברה, מסוג JVX6200 ו- JVX7200, מיועדות לבצע בקרה של תהליכי הייצור של שכבות דקות, כולל מדידת עוביין ברמת דיוק של עשרות אטומים בודדים
הפלטפורמה משלבת שני ערוצי מדידה: התאבכות (XRD) והחזרה (XRR) המספקים דיוק רב
חברת ג'ורדן ואלי (Jordan Valley) ממגדל העמק דיווחה היום על הזמנת המשך גדולה לאספקת מערכות בדיקת רנטגן מסוג JVX6200 ו- JVX7200 מתוצרתה.
המערכות מיועדות לבצע בקרה של תהליכי הייצור של שכבות דקות במהלך ייצור מוליכים למחצה במפעל הייצור של יצרן שבבים גדול מהמזרח הרחוק.
Best of West 2010
מנכ"ל ג'ורדן ואלי, יצחק מזור, אמר שמערכות המטרולוגיה של החברה מיועדות לעמוד בביצועים תובעניים, כמו איפיון שכבות SiGe מורכבות, high-k/metal ו-metallization. המוצר החדש ביותר של החברה היא פלטפורמת JVX7200, שזכתה בפרס Best of West 2010 של ארגון SEMI.
המערכת החדשה כבר מותקנת במספר מפעלים ומשמשת לפיתוח ולבקרת קווי הייצור של רכיבי SiGe ו-Sic. הפלטפורמות משלבות שלושה ערוצי מדידה: התאבכות (XRD), החזרה (XRR) ופלואורסנציה (XRF), המאפשרים איפיון שכבות דקות. באופן זה, ערוץ ההתאבכות מאפשר למדוד את ההרכב והמאמצים המופעלים על שכבות ה-SiGe, בעוד שערוץ ההחזרה מאפשר למדוד את עובי וצפיפות השכבות.
חברת ג'ורדן ואלי מתמחה בהשמת קרני רנטגן ליישומי בקרת ייצור ואיכות בתעשיית השבבים. טכנולוגיית XRR שפותחה בחברה מאפשרת לבצע מדידות ברזולוציה של קרינת X ובזוויות כניסה נמוכות של 0º-4°. הדבר מאפשר לאפיין שכבות דקות מאוד, שעוביין נמדד בכמה עשרות שכבות אטומיות.
לאחרונה השיקה החברה ערוץ מדידה חדש – VEGA XRR – שהוא בעל ספוט של פחות ממילימטר ומאפשר לבצע מדידה ישירה על-גבי פרוסת הסיליקון. החברה מעסיקה כ-160 עובדים, מתוכם כ-100 עובדים במטה החברה ובמרכז הפיתוח והייצור במגדל העמק.
פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית