הייניקס רכשה בישראל מכונת קומבו לתיקון שגיאות ליתוגרפיה
21 יוני, 2012
מאחורי העיסקה מסתתרת טכנולוגיה ישראלית-רוסית אשר פותחה בחברת Pixer Technology. כיום היא פועלת מכרמיאל כחברה בבעלות קרל-צייס ומעסיקה 30 עובדים. המנכ"ל בן-צבי: "בקרת רוחב הפס הופכת לבעייה קריטית בתעשיית השבבים"
"בעיית בקרת רוחב הפס הצר ביותר (CDC) הופכת לקריטית בייצור שבבים"
חברת הייניקס הקוריאנית (Hynix) רכשה מ- Carl Zeiss SMS מכרמיאל את מכונת תיקון מסיכות הליתוגרפיה CDC/RegC(R) Combo. מדובר הקומבו הראשונה שיצאה לשוק, המבצעת גם תיקון רוחב קווים במסיכת הליתוגרפיה (Critical Dimension Control) וגם תיקון בעיות Overlay, שבהן קיימת סטייה בתיאום בין שתי שכבות במוליך למחצה. המכונה מיועדת לייצור שבבים בגיאומטריה של 22 ננומטר.
מעבדת פיתוח ישראלית
מאחורי העיסקה מסתתרת טכנולוגיה ישראלית-רוסית אשר פותחה בחברת הסטארט-אפ הישראלית Pixer Technology, ואשר נירכשה על-ידי Carl Zeiss תמורת כ-50 מיליון דולר בשנת 2008. כיום החברה פועלת מכרמיאל כחברה בת עצמאית בשם Carl Zeiss SMS. היא מעסיקה כ-30 עובדים ונמצאת בבעלות מלאה של קרל-צייס העולמית.
מנכ"ל החברה, גיא בן-צבי, סיפר ל-Techtime שמדובר בטכנולוגיה גנרית רוסית שהובאה לישראל, וכאן בוצע הפיתוח הטכנולוגי. "אנחנו משפרים את מסיכות הליתוגרפיה באמצעות לייזר, ומסייעים ללקוחות להתמודד עם תהליך המיזעור.
"בעיית ה-CDU, בקרת רוחב הפס הצר ביותר, הופכת לבעייה קריטית בייצור שבבים. כיום יש כמיליארד טרנזיסטורים בשבב טיפוסי, והמוליך הצר ביותר בהם צריך להיות בעל רוחב אחיד. כאשר יש ירידה של כ-10% באחידות (Critical Dimension Uniformity), ביצועי השבב יורדים ב-50%. פירוש הדבר שמחירו יורד לעשירית, ולעתים השבב פשוט נזרק לפח מכיוון שלא כדאי למכור אותו".
תיקון באמצעות לייזר
המערכת שפותחה בישראל מאפשרת להעניק טיפול למסיכות הקריטיות בתהליך הייצור ולתקן את שגיאות רוחב הקו. לאחרונה החברה ביצעה שינויים בטכנולוגיה, המאפשרים לה לבצע גם תיקוני Overlay. "לעתים חלק מהקווים בליתוגרפיה הודפס במקום הלא נכון. פיתחנו תהליך מבוסס-לייזר היודע להזיז את הקווים ולתקן את המסיכה.
כיום החברה מוכרת כ-5-10 מכונות בשנה, במחיר טיפוסי של יותר מ-5 מיליון דולר למכונה. להערכת בן-צבי, השימוש בציוד לתיקון מסיכות צפוי להתרחב בשנים הקרובות עם הירידה הנמשכת בגיאומטריות הייצור. "ככל שהפס הצר ביותר במסיכה נעשה צר יותר, בעיית ה-CDU מחמירה. כשיצאנו עם הטכנולוגיה, רק סמסונג התעניינה בה. כיום כל החברות זקוקות לכלי תיקון ליתוגרפיה. במקביל, ככל שעלות שטח הייצור בפאב גדלה, כך גדל גם הביקוש למכונות קומבו בעלות שטח רצפה (Footprint) קטן".
שת"פ עם אינטל
חברת Carl Zeiss SMS פועלת במתכונת רזה של חברת פיתוח, כאשר הייצור מתבצע בישראל על-ידי שמר מתכת מאזור התעשייה בר-לב, והשיווק והמכירות נעשים על-ידי קרל-ציייס העולמית. מתחילת פעולתה היא עבדה בשיתוף פעולה הדוק עם חברת אינטל ישראל, וכיום היא מרחיבה את פעילותה גם מול חברות פאבלס. בחברה מאמינים שרעיון הקומבו מעניין את התעשייה ועד סוף השנה היא תמכור לפחות מכונה נוספת.
המנכ"ל גיא בן-צבי היה ממייסדי פיקסר ושימש כטכנולוג הראשי (CTO) שלה עם הקמתה ב-2004. בין המשקיעים בחברה נמנו אביגדור וילנץ (מייסד גלילאו שנמכרה למארוול), מרשל בטלר (מייסד AVX) וקרן ההון הסיכון Lightspeed. כיום היא משוייכת לחטיבת Semiconductor Manufacturing Technology של תאגיד קרל-צייס, אשר מעסיקה כ-2,100 עובדים ומכירותיה ב-2011 הסתכמו בכ-1.2 מיליארד אירו.
פורסם בקטגוריות: בקרה וציוד תעשייתי , חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית
