תדמור: "השוק דורש מערכות ייצור ישנות מאוד, וחדשות מאוד"

14 יוני, 2017

מנהל התפעול של חברת KLA-Tencor ישראל, אורי תדמור, מסביר מדוע החברה ממגדל העמק החזירה לייצור מכונת בדיקות ייצור שבבים ישנה מאוד - וגם הוציאה לשוק מכונה מהפכנית בעלת דיוק של מאית ננומטר

הצוות הישראלי של חברת KLA Tencor הפועלת ממגדל העמק, מתמודד בחודשים האחרונים עם תופעות חדשות המתפתחות בתעשיית הסמיקונדטורס העולמית, אשר הפכו את שנת 2017 לשנה מיוחדת במינה. בראיון ל-Techtime סיפר לאחרונה מנהל התפעול של KLA Tencor Israel, אורי תדמור שהחברה מצאה את עצמה במצב מעניין שבו היא מייצרת בו זמנית את המערכות החדשות ביותר של החברה, במקביל למערכות בדיקה ישנות מאוד שהיא מחזירה לקווי הייצור.

תדמור: "תעשיית מערכות הייצור ובקרת קווי ייצור השבבים נמצאת השנה בצמיחה מאוד גדולה, במיוחד בעיקר בזכות העובדה שיצרניות גדולות כמו TSMC, אינטל וסמסונג, נכנסו לתהליך הצטיידות מאסיבי. התהליך הזה נידחף על-ידי השימוש הגובר במערכות ייצור בגיאומטריה של 10 ננומטר ומערכות לייצור זכרונות פלאש. התוצאה היא שאנחנו רואים קפיצת מדרגה ברמת הביצועים שהתעשייה דורשת מהמכונות".

טכנולוגיה ישראלית לבדיקות Overlay

תדמור נכנס לתפקידו החדש לפני מספר שבועות, לאחר ששימש בשנים האחרונות כמנהל חטיבת מוצרי ה-Overlay של החברה. מערכות Overlay מבצעות בדיקה של הדיוק שבה מונחות שכבות החומר אחת על-גבי השנייה במהלך ייצור השבב. סוגיית האוברליי נעשתה מרכזית בשנים האחרונות עקב הכישלון של התעשייה בפיתוח מקור קרינת חשיפה באורך גל קצר (EUV). התוצאה היא שהמקורות היום בעלי רזולוציה נמוכה בהרבה מהנדרש לייצור טרנזיסטורים בגודל של 10 ננומטר. כדי להתמודד עם הבעיה שוכללו טכניקות ייצור אוברליי, המאפשרות לייצר מבנים קטנים מאוד באמצעות הוספת והחסרת שכבות ביניים רבות.

על הרקע הזה הוציאה לאחרונה חברת KLA Tencor את מערכת Archer 600 שפותחה ומיוצרת בישראל ומצליחה לגלות תזוזה בין השכבות ברזולוציה של מאית הננומטר. תדמור: "המערכת משתמשת בטכנולוגיית הדמייה שאנחנו מפתחים כבר 25 שנה ברציפות, ובמקור תאורה בעל טווח גדול מאוד של תדרים ובעוצמה חזקה פי עשרה בהשוואה לדורות הקודמים של מערכות הבדיקה. אחד מהפיתוחים המרכזיים במערכת החדשה הוא שימוש במטרות חדשות מסוג ProAIM™שפיתחנו, הכוללות מבנים המותאמים ל-Design Rules של תהליך הייצור המעשי".

המטרות הינן מבנים קבועים שתוכננו מראש ומיוצרים במרווחים שבין השבבים, אשר מנוסרים החוצה לאחר השלמת הייצור ופירוק פרוסת הסיליקון (Wafer) לרכיבים נפרדים. מכיוון שהמהנדסים מכירים את מאפייני התגובה לאור של המטרות, הם יכולים להשתמש בניתוח הקרינה המוחזרת מהן ככלי המספק מידע על מצב פרוסת הסיליקון. לדברי תדמור, "ככל שהתפתח תהליך המיזעור נוצרו פערים הולכים וגדלים בין המידע המגיע מהמטרות לבין המצב האמיתי של השבב. עכשיו סגרנו את הפער הזה. אומנם המטרות החדשות תוכננו במקור לתהליכי ייצור של 10 ננומטר, אבל הן מותאמות לשימוש בגם בתהליכי ייצור של 7 ננומטר ושל 5 ננומטר. בעבר היינו מודדים 12 נקודות בפרוסת הסיליקון, כיום אנחנו מבצעים בדיקות של 1,000 נקודות בכל פרוסה בקצב של כמה מאות מילי-שניות לכל מדידה".

מה הן המגמות הנוספות בתעשייה המשפיעות עליכם?

"אנחנו רואים מגמה של בניית תעשיית שבבים בסין. בתעשיית הסמיקונדקטורס הסינית מתבצעות כיום השקעות בהיקף של עשרות מיליארדי דולרים. התופעה הזו דומה מאוד למהלך שטאיוואן ביצעה לפני כ-30 שנה. זהו שוק מתעורר מבחינתנו, עם השקעות גדולות מאוד, אשר מנסה להדביק את הטכנולוגיה בעולם. לכן גם פועל כיום צוות מיוחד של KLA-Tencor המאתר הזדמנויות בסין. להערכתי, כיום אנחנו עדיין נמצאים רק בתחילתו של המהלך הזה".

המערכות הישנות חוזרות לקו הייצור

"מגמה מפתיעה קשורה להתפתחות שוק ה-IoT. לשוק הזה יש השפעה מעניינת מאוד על תעשיית הסמיקונדקטור מכיוון שעולם ה-IoT זקוק לשבבים זולים מאוד, ולכן הוא יוצר דרישה מוגברת לרכיבים המיוצרים בטכנולוגיות ישנות. אנחנו מרגישים את התופעה הזו בהתפתחות גדולה של שוק מערכות בדיקה שלנו מיד שנייה ומיד שלישית. אבל השנה נגמרו המכונות המשומשות בשוק. מי שיש לו מערכות ייצור ישנות – לא מוכר אותן – ואנחנו מתחילים לקבל בקשות לספק מוצרים מוצרים שהוצאנו לשוק לפני 15 שנים. למעשה, קיבלנו בקשות לייצר מחדש מערכות שכבר סיימנו את תהליך ה-End of Life שלהן. החברה התחילה לייצר חלק מהמוצרים, ואפילו בישראל התחלנו לייצר את מערכת הבדיקה המטרולוגית SFX200, שיצאה לשוק בשנת 2006".

ההשפעה הכוללת של המגמות האלה מורגשת גם בפעילות היומיומית של KLA-Tencor Israel. לדברי מנהלת משאבי האנוש בחברה, ויקי פלטניק, המרכז הישראלי נמצא בצמיחה. "בשלושת החודשים הראשונים של השנה גייסנו 40 עובדים חדשים וכעת אנחנו מעסיקים 530 עובדים בישראל. לפני שנתיים העסקנו 450 עובדים. מערך הפיתוח נמצא כעת בצמיחה, ולאחרונה פתחנו 20 משרות פיתוח חדשות שמתוכן לפחות 10 משרות הן לבעלי תארים מתקדמים בתחומי ההנדסה והמדעים.

"בשנים האחרונות נקלטו אצלנו לא מעט סטודנטים שהחלו לעבוד בחברה בזמן לימודיהם, במסגרת תוכנית מיוחדת שאנו מפעילים. החברה מציעה חבילת תנאים ייחודית המותאמת לכל סטודנט, בנוסף לתנאים סוציאליים מלאים, בונוסים, ביטוחי בריאות ועוד. רבים מהם נקלטים בחברה עם סיום בלימודים וממשיכים להתפתח במסגרות שאנו מציעים להם״.

למידע נוסף: KLA Tencor Israel

פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , תעשייה ישראלית