אפלייד מטיריאלס ישראל פיתחה מערכת בדיקה לתהליכי ייצור מתקדמים

24 פברואר, 2025

מערכת SEMVision H20 שפותחה ומיוצרת ברחובות, כוללת מיקרוסקופ אלקטרוני המתקדם בעולם (eBeam) ומערכת בינה מלאכותית המאיצה את יכולת הגילוי של פגמים במהלך הייצור של רכיבי 2 ננומטר ומטה

אפלייד מטיריאלס ישראל פיתחה מערכת בדיקה לתהליכי ייצור מתקדמים

בתמונה למעלה: מערכת SEMVision™ H20 החדשה. פיתוח וייצור ישראלי

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) הכריזה על מערכת גילוי הפגמים החדשה בקווי ייצור שבבים, SEMVision H20, אשר פותחה ומיוצרת בחטיבה הישראלית של החברה ברחובות. החברה מסרה שהמערכת כוללת את המיקרוסקופ האלקטרוני המתקדם בעולם (eBeam) ומערכת בינה מלאכותית המאיצה את תהליכי עיבוד התמונה ויכולת הגילוי של פגמים במהלך הייצור. תהליכי הייצור המתקדמים דורשים הכפלה של פי 100 במספר המטרות הנבדקות ומנותחות על-ידי המערכת. סגן נשיא להדמאה ובקרת תהליכים בחברת אפלייד מטיריאלס, קית' וולס, אמר שהשילוב בין אלגוריתם בסינה מלאכותית לבין ביצועי קרן האלקטרונים שפותחה בישראל, "מאפשר לזהות במהירות פגמים זעירים המסתתרים בתבניות תלת מימדיות (3D)".

מערכת הבדיקות החדשה מיועדת לשימוש בקווי ייצור שבבים מתקדמים בעלי רוחב צומת של 2 ננומטר ומטה, כולל ייצור שבבים באמצעות טרנזיסטורי GAA, רכיבי זכרון DRAM צפופים ורכיבי זכרון NAND תלת מימדיים. היא מבוססת על טכנולוגיית Cold Field Emission – CFE שפותחה בישראל ונחשפה לראשונה בסוף 2022. היא מאפשרת להפעיל מיקרוסקופ אלקטרונים בטמפרטורת החדר ולא בטמפרטורה המקובלת של כ-1,500°C, ועל-ידי כך לאתר ולזהות פגמים בשבב בגודל של פחות מ-1 ננומטר. טכנולוגיית CFE מפיקה קרן צרה יותר המכילה מספר רב יותר של אלקטרונים, ובכך משפרת את הרזולוצייה בעד 50% ומגבירה את מהירות ההדמיה עד פי 10 בהשוואה לטכנולוגיית Thermal Field Emission (TFE) קונבנציונלית.

תמיכה בייצור שבבי 2 ננומטר ומטה

למעשה, ביחד עם מערכת SEMVision H20, אפלייד מציגה את הדור השני של טכנולוגיית CFE שלה. מודלי הלמידה העמוקה ששולבו ב-SEMVision H20 מבצעים זיהוי אוטומטי של פגמים אמיתיים והסרת "רעשי רקע". רשת הלמידה העמוקה שפותחה באפלייד מטיריאלס, לומדת באופן רציף מנתונים המתקבלים מהמפעל של יצרנית השבבים וממיינת את הפגמים לקטגוריות, כגון שריטות, שאריות חומר, חלקיקים ועוד עשרות סוגי פגמים, במטרה לספק איפיון מדויק ויעיל של הפגמים. החברה מסרה שהמערכת מאיצה את תהליך הזיהוי פי שלושה לפחות, ושהיא כבר נכנסה לקווי הייצור המתקדמים ביותר של יצרניות שבבים מובילות. מכיוון שיש רק שלוש חברות בעולם המייצרות שבבים בתהליכי 2 ננומטר, מדובר ככל הנראה באינטל, TSMC וסמסונג.

חברת אפלייד מטיריאלס היא מספקיות הציוד לייצור ובדיקת שבבים הגדולות בעולם. החברה נסחרת בנסד"ק לפי שווי שוק של כ-139.7 מיליארד דולר. החטיבה הישראלית של אפלייד מטיריאלס (PDC), מפתחת ומייצרת מערכות מתקדמות לבקרת איכות ייצור השבבים. היא פועלת כמרכז רווח עצמאי ומעסיקה יותר מ-2,000 עובדים, רובם בפארק המדע ברחובות שבו היא מפעילה את מרכז המו"פ והייצור הגדול ביותר של החברה מחוץ לארה"ב.