אפלייד מטיריאלס ישראל חשפה מערכת איתור פגמים ל-20 ננומטר
12 יולי, 2012
המערכת החדשה מתבססת על שני ערוצי גילוי הפועלים בו זמנית: הארת לייזר ואיסוף האור המוחזר. נשיא ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, איתי רוזנפלד, הסביר שעם התקדמות הטכנולוגיה, "פגמים זעירים שבעבר יכולנו להתעלם מהם הופכים לפגמים קריטיים"
חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials) חשפה היום את מערכת הבדיקה Applied UVision5 עבור קווי ייצור שבבים בגיאומטריה של 20 ננומטר. מדובר במערכת ממשפחת UVision המפותחת ומיוצרת בישראל.
המערכת מבצעת סריקה של פרוסות הסיליקון בשלבים שונים של תהליך ייצור השבבים, כדי לוודא שהתהליך נקי מפגמים, ושכמות הפגמים האקראיים נמוכה, ושתהליך הייצור עצמו יציב ושיטתי.
הושלמו ניסויי ההרצה
המערכת החדשה מתבססת על שני ערוצי גילוי הפועלים בו זמנית: הארת לייזר ואיסוף האור המוחזר מפרוסת הסיליקון (Brightfield), ואיסוף האור המפוזר (Greyfield) מפרוסת הסיליקון הנבדקת. החברה מסרה שהשילוב של שתי טכנולוגיות גילוי במחזור בדיקה אחד מכפיל את שיעור הגילוי של הפגמים קריטיים בהשוואה למערכות הדור הקודם.
נשיא ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, איתי רוזנפלד, הסביר שעם התקדמות הטכנולוגיה, "פגמים זעירים שבעבר יכולנו להתעלם מהם הופכים לפגמים קריטיים". לדבריו, המערכת כבר השיגה שיאים בניסויי הרצה במפעלים המייצרים שבבים בגיאומטריה של 20 ננומטר, וחלקם ביצע הזמנות חוזרות.
בשנת 2011 דורגה אפלייד מטיריאלס על-ידי חברת הייעוץ Patent Board ביצרנית ציוד בדיקת השבבים בלעת המספר הגדול ביותר של פטנטים. מקום הראשוו מבין כל חברות יצרני ציוד בדיקת השבבים. באותה שנה נרשמו 51 פטנטים שהגיעו מישראל – יותר מ-10% מכל הפטנטים של החברה. לאחרונה קבעה החברה שהפטנט עליו מבוססת המערכת החדשה הוא "אחד מהפטנטים החשובים ביותר של החברה". הישג השמור לפטנטים בודדים בלבד מתוך 10,000 הפטנים של החברה.
מערכת 5 UVision מציגה גם יכולת חדשנית בחסכון בזמן, שתאיץ את הייצור של שבבים חדשים. אינטגרציה ללא מגע יד אדם, עם מערכת ה- SEMVision G5, שהושקה לפני מספר חודשים, מערכת צילום הפגמים המובילה בתעשייה, מציעה ליצרני המוליכים למחצה דרך מהירה ומדויקת ביותר למידע ספציפי ורלוונטי לאיתור מקור התקלות. בנוסף, המערכת יכולה לבצע שימוש חכם במידע המתקבל ממתכנני השבב וכך לתכנת טוב יותר את סריקת הפגמים, דבר המשפר את הביצועים וחוסך זמן רב.
פורסם בקטגוריות: Test & Measurments , אלקטרואופטיקה , חדשות , סמיקונדקטורס , צב"ד , תעשייה ישראלית
