הושלם פרוייקט MADEin4, שהיה שת"פ השבבים הגדול ביותר באירופה

18 ינואר, 2023

אפלייד מטיריאלס ישראל הובילה את הקנסורציום הענק שפעל בתקציב של כ-130 מיליון אירו. לאחר שזיהו מהו "הדבר הבא" בתעשייה, פיתחו טכנולוגיות לבקרת ייצור שבבים מתקדמים וקידום מהפיכת Industry 4.0 בשילוב תעשיית הרכב

בתמונה למעלה: אילן אנגלרד (מימין) וד"ר דורון משולח – "כניסה אל פרוייקטים עם סיכון גבוה"

החודש הושלמה פעילות קונסורציום MADEin4 של האיחוד האירופי, שהוקם ונוהל על-ידי חברת אפלייד מטיריאלס ישראל, והיה אחד מהפרוייקטים האירופיים הגדולים ביותר שהוקמו ונוהלו על-ידי חברה ישראלית. מדובר בפרוייקט ענק בהשתתפות 47 חברות וגופים ובהשקעה כוללת של כ-130 מיליון אירו, שמתוכם התקבלו כ-60 מיליון אירו מהאיחוד האירופי ומהמדינות השותפות לתוכנית.

הפרוייקט יצא לדרך בהובלת אילן אנגלרד המשמש כמנהל פרוייקטים אירופה באפלייד מטיריאלס ישראל, ואשר גם ניהל אותו לאורך שלוש וחצי שנות פעילותו. שיתוף הפעולה הביא ביחד כמה מהשחקנים החשובים ביותר בתעשיית השבבים, הרכב והמטרולוגיה כמו אפלייד מטיריאלס ישראל, נובה, ברוקר, KLA ישראל, מכוני מחקר מרכזיים כמו leti ו-imec, יצרניות שבבים מרכזיות כמו ST, גלובל פאונדריז וטאואר סמיקונדקטורס, מפתחי שבבים כמו אנבידיה ויצרניות רכב כמו FCA ועוד. המטרה: פיתוח גישות חדשות לייצור רכיבים אלקטרוניים ובקרת תהליכי ייצור במתכונת Industry 4.0 מבוססת מידע, הנירכש באמצעות מכונות בקרת איכות וסנסורים.

שילוב של חיזוי ובדיקות

"במסגרת הפרוייקט פותחה אלגוריתמיקה חכמה ל-Industry 4.0", סיפר אנגלרד ל-Techtime. "התמקדנו בשני תחומים מרכזיים: האצת הביצועים של מכונות המדידה, ואלגוריתמיקה חכמה ברמת הפאב. ניתן למשל לשלב בין התכנון של השבב לבין התוצרים בקו הייצור. מדובר למעשה ביכולת חיזוי שבאמצעותה ניתן לקבל אינפורמציה טובה יותר על תהליך ייצור הרכיבים והפרוסה, ובכך לשפר את התפוקה. הופתענו מהתוצאות הטובות שקיבלנו: הצלחנו לשפר את המודלים של התהליך בעד 40% במקרים מסויימים".

המודלים נבדקו על תהליכי ייצור מתקדמים?

אנגלרד: "ההשתתפות של חברות דוגמת imec ו-leti איפשרה לבדוק טכנולוגיות מטרולוגיה עבור תהליכי ייצור המצויים עדיין בשלבי פיתוח ועוד לא הגיעו אל השוק. למשל רכיבי 5 ננומטר ורכיבים לוגיים תלת-מימדיים הבנויים בטכנולוגיית nanosheet, אשר צפויה להיכנס לייצור בחברות הגדולות רק בעוד מספר שנים". מנהל טכנולוגיות ושיתופי פעולה אסטרטגיים באפלייד מטיריאלס ישראל, ד"ר דורון משולח, סיפר שהקונסורציום סייע לחברה להיחשף אל טכנולוגיות ייצור עתידיות הנמצאות בשלבי פיתוח ולאתגרי בקרת התהליכים שהן מעוררות. "הדבר מאפשר לנו להיכנס לפרוייקטים של הדור הבא הנמצאים בסיכון גבוה".

מערכת PrimeVision 10 לאיתור פגמים המבוססת על מיקרוסקופ אלקטרונים סורק, שפותחה על-ידי אפלייד מטיריאלס ישראל
מערכת PrimeVision 10 לאיתור פגמים המבוססת על מיקרוסקופ אלקטרונים סורק, שפותחה על-ידי אפלייד מטיריאלס ישראל

ל-Techtime נודע שהפעילות בקונסורציום סייעה לחטיבת Process Diagnostics and Control של אפלייד מטיריאלס, שהיא זרוע הפעילות הישראלית של החברה, בפיתוח טכנולוגיית eBeam (מיקרוסקופ אלקטרונים) חדשה המאפשרת לבצע הדמייה של שבבים בזמן אמת באמצעות שימוש בקרן אלקטרונים סורקת בטכנולוגיה פורצת-דרך המבוססת על מקור "קר" של אלקטרונים, במקום בטכנולוגיה הקיימת היום המתבססת על מקור "חם" של אלקטרונים, העובד בטמפרטורה גבוהה של כ-1,500°C. הטכנולוגיה הזו (Cold Field Emission) שולבה במערכת החדשה PrimeVision 10 לאיתור פגמים המיוצרת בישראל.

(למידע נוסף, הקליקו טכנולוגיית eBeam חדשה).

מה הן המגמות המרכזיות שהובילו את הפיתוחים בפעילות MADEin4?

משולח: "מגמת מזעור רכיבי הסמיקונדקטורס נמשכת, וגם המעבר לרכיבים תלת-מימדיים מורכבים. התוצאה היא סבוריות גוברת של הייצור ושל בקרת התהליך המחייבות פיתוח מכונות חדשות לסריקת הפרוסות, מצאית פגמים ננומטריים וביצוע מדידות מטרולוגיות.

פותחה גם מערכת בדיקה אופטית משופרת עם רגישות גבוהה לגילוי פגמים קטנים ומהירויות סריקה גבוהות, הכוללת גם מנגנונים השומרים אותה בחלון עבודה אופטימלי, דבר המקטין את הצורך בכיולים ומשפר את התפוקה. פותחה גם מערכת לבדיקת שבבים מתקדמים המבוססת על מיקרוסקופ אלקטרונים סורק בעל רזולוציה ננומטרית ומהירות גבוהה. זהו שוק הנמצא בגידול מהיר".

אנגלרד: "בקונסורציום השתתפו הרבה חברות המייצרות ציוד עבור מארזי שבבים מתקדמים (Advanced Packaging). בראייה קדימה, אנחנו מתכננים פרוייקט  של שילוב הטרוגני הכולל אלמנטים של מארזים מתקדמים, סיליקון ואופטיקה. המגמה שאנחנו מזהים היא של שילוב חכם של רכיבים מרובי-שבבים (Chiplets). זה הולך להיות הדבר הבא".

Share via Whatsapp

פורסם בקטגוריות: אלקטרואופטיקה , בקרה וציוד תעשייתי , חדשות , סמיקונדקטורס , תעשייה ישראלית

פורסם בתגיות: MADEin4 , אפלייד מטיריאלס , מטרולוגיה , שבבים