Applied Materials ישראל פיתחה יכולת בדיקה של שבבים תלת מימדיים
24 פברואר, 2015
מערכת המטרולוגיה VeritySEM 5i מבוססת על מיקרוסקופ אלקטרוני סורק ומאפשרת לבצע מדידה של פרמטרים קריטיים בזיכרונות NAND תלת-מימדיים ובטרנזיסטורי FinFET
מערכת המטרולוגיה VeritySEM 5i מבוססת על מיקרוסקופ אלקטרוני סורק ומאפשרת לבצע מדידה של פרמטרים קריטיים בזיכרונות NAND תלת-מימדיים ובטרנזיסטורי FinFET
חברת אפלייד מטיריאלס העולמית הכריזה אתמול על מכונת בדיקת השבבים החדשה שלה, VeritySEM 5i, אשר פותחה בישראל ומצליחה להתמודד עם אתגר יוצא דופן: מדידת כל הפרמטרים הפנימיים בטרנזיסטור תלת-מימדי. מערכת הבדיקה (מטרולוגיה) מבוססת על שימוש במיקרוסקופ אלקטרוני סורק (Scanning Electron Microscope), הנחשב למכשיר הראשון שהצליח לבצע מדידה סדרתית של התקני תלת-מימד מתקדמים (בדיקת הפרמטרים של הטרנזיסטור: Critical Dimension).
המכשיר החדש מצליח לגבור על האתגרים של מדידת יחס גובה-רוחב ומאפיינים מורכבים בהתקני NAND ו-FinFET תלת-ממדיים. הוא מיועד לעבודה בקו הייצור במתכונת in line. המיקרוסקופ מפיק תמונות בהפרדה גבוהה באמצעות איסוף אלקטרונים מפיזור אחורי (Back Scattered Electrons), כדי שהיצרנים יוכלו לבצע בקרה של המימדים הקריטיים בייצוא הטרנזיסטור, תוך כדי ייצור.
סגן נשיא עולמי ומנכ"ל אפלייד מטיריאלס ישראל, איתי רוזנפלד, אמר שמבנים תלת-מימדיים מורכבים מצריכים מימדי מדידה חדשים, עובדה המגדילה את הדרישות מטכנולוגיות המדידה (מטרולוגיה). "לא ניתן עוד להמשיך ולהסתמך על טכניקות סריקות מימדים קריטיים (CD SEM) מסורתיות. חידושים בתחום הדימות (imaging) המבוססים על המומחיות של אפלייד בטכנולוגיית קרן אלקטרונים ועיבוד תמונה עבור מדידת CD SEM, מאפשרים ללקוחותינו (יצרני שבבים) למדוד ולנטר את ההתקן התלת-מימדי בשלבי המחקר ופיתוח, תחילת הייצור והמעבר לייצור המוני.
"לקוחות המשתמשים בכלי הזה כבר נהנים מתפוקות משופרות. המערכת הזו תציב את הרף לכלל התעשייה משום שיצרני השבבים זקוקים ליכולות חדשות ומדויקות של הנדסת חומרים בכדי לעבור לארכיטקטורות תלת ממדיות ולהמשיך להתקדם מעבר לקו ה-10 ננומטר".
כדי להבין את היקף האתגר, ראוי לזכור שיצרני זיכרונות מייצרים מבנים תלת מימדיים באמצעות מבנים המזכירים תוצאה של קיפול המשטח עליו מצויים הטרנזיסטורים. הדבר מאפשר להם לדחוס יותר תאי זיכרון ליחדת שטח, אולם מציב בפני מכונות הבדיקה אתגר מיוחד. כך למשל, בזיכרונות תלת-מימדיים יש לעתים צורך לבדוק את המימדים של תעלות שהיחס בין הרוחב והגובה שלהן מגיע ל-1:60. מבנה כזה, ברוחב של כמה ננומטרים, נוטה לבלוע את האלקטרונים הפוגעים בו ולא להוציא את המידע החוצה.
פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה
כתבות נוספות העשויות לעניין אותך
