Nova חשפה תוכנת בדיקות חדשה לשבבים תלת-מימדיים

8 יולי, 2013

בגרסה החדשה, התוכנה של Nova מאפשרת למדל את השבבים המיוצרים בטכנולוגיות תלת-מימדיות, כמו למשל טרנזיסטורים מסוג FinFET שבהם השער האלקטרוני (Gate) הוא אנכי במקום אופקי

לפני כשבועיים הודיעה החברה שאחד מיצרני הזיכרונות הגדולים בעולם הזמין מספר רשיונות שימוש בתוכנת NovaMARS

חברת נובה מכשירי מדידה (Nova) מרחובות הכריזה על שדרוג משמעותי בתוכנת המידול לבדיקות ייצור שבבים, NovaMARS 6.0. בגרסה החדשה, התוכנה מאפשרת למדל את השבבים המיוצרים בטכנולוגיות תלת-מימדיות, כמו למשל טרנזיסטורים מסוג FinFET שבהם השער האלקטרוני (Gate) הוא אנכי במקום אופקי.

בשיטה זו ניתן להגדיל את שטח החתך של השער ועל-ידי כך לשפר את ביצועי הטרנזיסטור ולחסוך בהספק, בלא צורך לבצע הפחתה משמעותית בגודל הצומת של המוליך למחצה. היא גם מאפשרת להתמודד עם תהליך הייצור החדש של זיכרונות מסוג VNAND, שגם הוא מבוסס על צמתים תלת-ממדיים.

התוכנה מיועדת לבצע פיתוח של תהליכי בדיקה מסוג Optical CD. הדרך הנפוצה ביותר כיום לבצע מדידות מדוייקות של רכיבים זעירים בתהליכי ייצור השבבים היא באמצעות הפעלת מערך בדיקות בשםOptical Critical Dimension . במהלך הבדיקות מקרינים על האזור הניבדק אור באורכי-גל שונים, ובודקים את ספקטרום ההחזרה המתפזר ממשטחי הסיליקון. ניתוח של האותות החוזרים מאפשר לשחזר את מאפייני פני-השטח, כלומר את מימדי הטרנזיסטורים המיוצרים ואת תצורת המבנים התלת-מימדיים המיוצרים.

החברה מסרה שהתוכנה החדשה מתאימה לטיפול בתהליכי ייצור שבהם גודל הצומת הוא 20 ננומטר ומעלה ו-10 ננומטר ומעלה ושהיא מקצרת את תהליך פיתוח הבדיקות בכ-50%. תוכנת המידול תואמת לציוד המדידה של החברה ותומכת בפונקציות מסוג Hybrid Metrology. כלומר, היא קולטת מידע מכלי-בדיקה מטרולוגיים האחרים המצויים במפעל השבבים (Fab), כמו למשל מערכות CD SEM (מיקרוסקופ אלקטרוני המודד פרמטרים קריטיים בשבב) במטרה לשפר את ביצועי מערך הבדיקות הכולל.

הטכנולוג הראשי של החברה, ד"ר שי וולפלינג, אמר שההכרזה האחרונה היא מרכיב באסטרטגיה של החברה הממוקדת בפיתוח תוכנות המסייעות ללקוחות להתמודד עם הדרישות החדשות הנובעות מהמעבר לתהליכי ייצור חדשים ומורכבים.

לפני כשבועיים הודיעה החברה שאחד מיצרני הזיכרונות הגדולים בעולם הזמין מספר רשיונות שימוש בתוכנת NovaMARS עבור בדיקות בקו ייצור של זיכרונות DRAM וזיכרונות NAND. ככל הנראה מדובר בהזמנה הראשונה של הגירסה החדשה, שכן הלקוח מתכנן להשתמש בה עבור קווי ייצור תלת-מימדיים.

פורסם בקטגוריות: חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית