אפלייד מטיריאלס משיקה מערכת בדיקת שבבים ברזולוציית 1 ננומטר
12 יולי, 2016
המערכת החדשה מתבססת על טכנולוגיית e-beam ומאפשרת רזולוצייה של 1 ננומטר, החיונית עבור פיתוח ועד ייצור בממדים ≥10 ננומטר, יצירת FinFET, התקני DRAM ו-D NAND3.
המערכת החדשה מתבססת על טכנולוגיית e-beam ומאפשרת רזולוצייה של 1 ננומטר, החיונית עבור פיתוח ועד ייצור בממדים ≥10 ננומטר, יצירת FinFET, התקני DRAM ו-D NAND3.
חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) משיקה את מערכת ה-PROVision™, מערכת בדיקה ((inspection לייצור שבבים בטכנולוגיית e-beam, המספקת רזולוציה ואיכות תמונה גבוהות ומהירות בדיקה גבוהה עד פי שלושה ביישומי ה-e-beam התובעניים. המערכת מיועדת ליצרני שבבים מסוג logic DRAM ו-3D NAND, וזאת עם המעבר בתעשייה לטכנולוגיות ייצור מתקדמות יותר.
על פי החברה, זהו כלי הבדיקה מבוסס e-beam היחיד שמציע רזולוציה של עד 1 ננומטר, יכולת חיונית עבור פיתוח ועד ייצור בממדים ≥10 ננומטר, יצירת FinFET, התקני DRAM ו-D NAND3. המערכת מאפשרת ליצרני שבבים לאתר את הפגמים הזעירים ביותר אשר יכולים לפגוע בתפקוד את השבב ולנטר תופעות הקשורות למרווחי ייצור הדוקים. המערכת מבטיחה אפיון מדויק של התהליך, חיזוי ואיתור פגמים בייצור וכן איתור ליקויים הפוגעים באיכות וביעילות לאורך כל מחזור החיים של המוצר ב-fab.
"מערכת ה-PROVision היא התוספת החדשה ביותר לקו מוצרי ה- e-beam שלנו וחלק מרכזי באסטרטגיית הצמיחה של אפלייד," אמר בוב פרלמוטר, סגן נשיא ומנהל כללי של קבוצת ההדמיה ובקרת התהליכים באפלייד. "טכנולוגיית ה-e-beam column הייחודית שלנו היא הטובה מסוגה בתעשייה. בשילוב עם מתודולוגיות הבדיקה החדשות של לקוחותינו, היא מאפשרת למערכת ה- PROVision להשתלב גם בסביבת הייצור ולשמש ליישומים נוספים מעבר לשלב הפיתוח".
עד כה סופקה מערכת ה-PROVision כבר לתריסר לקוחות, לרבות הזמנות חוזרות
מ-foundry מוביל ויצרן זכרונות גדול. מערכות נוספות מתוכננות להישלח ללקוחות קיימים וחדשים במחצית השנייה של 2016.
פורסם בקטגוריות: סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה
