אפלייד מטיריאלס ישראל השיגה פריצת דרך טכנולוגית: מערכת לבדיקת פרוסות סיליקון המבוססת על לייזר DUV
18 מרץ, 2011
השימוש בקרן לייזר בתדר אולטרא-סגול עמוק מאפשר למערכת הבדיקות החדשה, DFinder, לאתר זיהומים בגודל של 40 ננומטר על-פני פרוסת הסיליקון במהלך הייצור של חצאי-מוליכים
השימוש בקרן לייזר בתדר אולטרא-סגול עמוק מאפשר למערכת הבדיקות החדשה DFinder, לאתר זיהומים בגודל של 40 ננומטר על-פני פרוסת הסיליקון
חברת אפלייד מטיריאלס הודיעה כי מערכת הבדיקה החדשה שפותחה בישראל, Inspection Applied DFinder, השיגה פריצת דרך טכנולוגית בתחום בדיקת השכבות ברכיבי זיכרון ובשבבים לוגיים, המיוצרים בטכנולוגיית 22 ננו-מטר (0.022 מיקרון).
תאורה אפלה
המערכת עושה שימוש בלייזר בטווח אור אולטרא-סגול עמוק (DUV) המאפשר לגלות חלקיקים קטנים מאוד על פרוסות סיליקון מודפסות במהלך תהליך ייצור השבב. זו הפעם הראשונה שבה נעשה שימוש באור אולטרא-סגול במערכות המבוססות על טכניקת Darkfield.
טכניקה זו פותחה בתחום המיקרוסקופיה במטרה להגדיל את הניגודיות של תמונה המתקבלת מהאובייקט הניבדק. היא מבוססת על הארת האובייקט באופן שבו קרינת האור לא אמורה לחזור אל עדשת האובייקט, מלבד האור המתפזר עקב פגיעה בזיהומים שעל פני פרוסת הסיליקון.
החברה מעריכה שהעלות הכוללת של הפעלת מערכות DFinder נמוכה ב- 40% ממערכות מתחרות בשוק. לנתון זה משמעות רבה בקווי ייצור השבבים, המפעילים לעתים עד 50 שלבי בדיקות נפרדים במהלך הייצור.
הטכנולוגיה הייחודית של תאורת לייזר אולטרא-סגול עמוק מאפשרת לאבחן חלקיקים בלתי רצויים בפרוסת הסיליקון עד לגודל של 40 ננומטר. המכונה כוללת מערכת בקרת קיטוב ייחודית הפועלת בזוויות נמוכות מאוד ויודעת לבודד את החלקיקים הזרים על פרוסות הסיליקון כדי להקטין את מספר התראות השווא.
לדברי מנכ"ל אפלייד מטריאלס ישראל רונן בנציון, אמר "ש-DFinder נוצרה כדי לאבחן חלקיקים קטנים מאוד בטכנולוגיות הייצור המתקדמות ביותר". לדבריו, החברה כבר מכרה מספר מערכות כאלה, וקיבלה הזמנות חוזרות ממפעלי ייצור שבבים הנערכים למעבר לייצור המוני.
אפלייד מסרה שעם הצגת מערכות DFinder, היא מציעה סל פתרונות מקיף לבקרת איכות הייצור, הנשען על טכנולוגיית DUV. הוא כולל מכונות איכול (Etch), מכונות לבדיקת הנחת שכבות דקות (Deposition) ותוכנת אופטימיזציה של הייצור.
פורסם בקטגוריות: אלקטרואופטיקה , חדשות , סמיקונדקטורס , ציוד בדיקה , תעשייה ישראלית
כתבות נוספות העשויות לעניין אותך
