שוק זכרונות ה-MRAM נולד ב-2019

שוק הזכרונות המגנטיים (Magnetic Random Access Memory – MRAM) מתחיל לצבור תנופה, וכבר בשנת 2024 הוא צפוי להיגע להיקף של כ-1.2 מיליארד דולר. כך מעריכה חברת המחקר הצרפתית Yole Développement במחקר חדש שפורסם היום (ב'). מדובר בהבשלת טכנולוגיה הנמצאת בפיתוח כמעט 10 שנים בחברות גדולות, דוגמת יבמ, SK Hynix, אפלייד מטיריאלס, Tokyo Electron ואפילו חברות המתמקדות במעגלים לוגיים כמו קואלקום ו-ARM. שוק היעד המרכזי של הזכרונות החדשים יהיה בשלב הראשון בתחום המערכות משובצות, שם הוא מסתמן כמתחרה יעיל של טכנולוגיית Embedded Flash – eFlash.

ה-eFlash הגיע אל סוף דרכו

להערכת אנליסט חברת יול, ד"ר סיימון ברטולאצי, קיימת הבנה בתעשייה שהייצור של זכרונות eFlash לא יבוצע בתהליכים קטנים יותר מ-28/22 ננומטר, מכיוון שהעלות הכרוכה בייצור במימדים קטנים יותר אינה כדאית מסחרית. התעשייה מחפשת פתרונות חדשים עבור זכרונות בלתי נדיפים (NVM), וזאת בשעה שגם הייצור של זכרונות SRAM נדיפים מתחיל להתמודד עם חומת המימדים, מכיוון שבגודל צומת זעיר חלה ירידה מהירה בביצועים של תאי הזכרון.

להערכתו, המעורבות של חברות גדולות בתעשייה הביאה את טכנולוגיית MRAM לרמת בשלות אשר צפויה להתבטא בצמיחה של 295% לשנה במהלך חמש השנים הבאות. טכנולוגיית ה-MRAM המובילה כיום בשוק נקראת Spin Transfer Torque Magnetoresistive RAM – STT-MRAM, שבה המידע בזיכרון MRAM לא נישמר בצורת מטען חשמלי או זרם, אלא באמצעות מטען מגנטי. זיכרון MRAM עשוי מחומרים מגנטיים עדינים המשמשים בדרך כלל בכונני דיסקים קשיחים.

תא MRAM בסיסי בנוי משני לוחות של חומרים מתמגנטים המופרדים באמצעות תעלה צרה של מוליך למחצה. כאשר המטענים המגנטיים בשני הלוחות הם בעלי כיוון משותף, הזרם העובר דרך הצומת ניתקל בהתנגדות חשמלית נמוכה. כאשר המטענים המגנטיים בעלי כיווניות הפוכה, הזרם העובר דרך התא ניתקל בהתנגדות גבוהה. כלומר, המידע הדיגיטלי ("0" או "1") מיוצג באמצעות ההתנגדות החשמלית של הצומת.

ההסבר הפיסיקלי לתופעה נעוץ בכך שכיווניות המיגנוט משפיעה על ציר הסיבוב הפנימי של האלקטרון (Spin). כאשר שני הלוחות הממוגנטים הם בעלי כיווניות הפוכה, אלקטרונים בעלי ספין מסויים מתקשים לעבור חומר שבו האלקטרונים מצויים בספין מנוגד, ולכן חלה עלייה בהתנגדות הצומת.

מבחינת שיקולי הספק, פירוש הדבר שצריכת האנרגיה העיקרית של זיכרון MRAM היא בשלב הכתיבה בלבד, בעוד שבשלב הקריאה צריכת ההספק היא כמעט אפסית. לתכונה זו משמעות חשובה, מכיוון שרוב המידע בזיכרון נכתב מעט פעמים, אבל נקרא הרבה מאוד פעמים. התחום הזה משך אליו חברות גדולות רבות בתחילת העשור, בהן טושיבה ו-Hynix שהחליטו לפתח ביחד זיכרונות MRAM, חברת NEC, יבמ ובשנת 2013 גם טאואר-ג'אז הישראלית נכנסה לתחום ה-MRAM.

2019 היא שנת תפנית

השנה חלה התפתחות חשובה מאוד בתחום: בחודש מרץ סמסונג הכריזה על תחילת הייצור ההמוני של רכיבי MRAM בתהליך של 28 ננומטר (בתמונה למעלה), ובחודש יוני חשפה חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) מערכת ייצור תעשייתית המאפשרת לייצר רכיבי זיכרון מסוג MRAM ,ReRAM ו-PCRAM, המיועדים בעיקר לשימוש ביישומי IoT הדורשים זכרונות אמינים, זולים וחסכוניים מאוד באנרגיה. מערכת Endura Clover MRAM PVD של אפלייד מטיריאלס בנוייה משבעה תאי עיבוד נפרדים של פרוסת הסיליקון בתנאי ואקום קיצוניים.

זוהי מערכת ה-300 מ"מ הראשונה בתעשייה המותאמת לייצור המוני של זכרונות MRAM. היא מסוגלת לשקע עד חמישה חומרים שונים בכל תא. כדי לייצר זכרונות MRAM יש צורך בשיקוע של לפחות 30 שכבות שונות של חומר ברמת דיוק של מספר אנגסטרם בודדים, ובלא להוציא את פרוסת הסיליקון מתא הוואקום כאשר הייצור מתקדם בין השכבות או שנעשה תהליך של החלפת חומרים.

מערכת Endura Clover של אפלייד מטיריאלס לייצור זכרונות MRAM
מערכת Endura Clover של אפלייד מטיריאלס לייצור זכרונות MRAM

להערכת חברת המחקר, זכרונות MRAM יהיו זכרונות הדור הבא בתחום האבזרים הלבישים, אבזרי IoT, מיקרו-בקרים, ציוד הדמאה, תעשיית הרכב וברכיבי ASIC רבים. ברטולאצי: "שנת 2019 היא השנה שבה השוק מתחיל להתרומם". אולם בעוד שהחברה צופה צמיחה מהירה בתחום הפתרונות המשובצים, שוק רכיבי הזיכרון עצמו (stand-alone memory) מתעכב.

בשוק הזה החברה צופה צמיחה של 54% בשנה, להיקף של פחות מ-600 מיליון דולר בשנת 2024. "עד עכשיו, השוק בזה נדחף על-ידי רכיבים בנפח קטן של עד 16Mb, שיוצרו על-ידי מספר קטן של יצרנים כמו Everspin ו-Sony. בשנים הקרובות נראה יותר יישומי אחסון בתחומים כמו זכרונות מטמון בכונני SSD ופתרונות האצת תקשורת, הדורשים רכיבי זכרון בנפח של יותר מ-256Mb ".

אפלייד מטיריאלס הכריזה על מכונות לייצור זכרונות MRAM ,ReRAM ו-PCRAM

בתמונה למעלה: מערכת Endura Clover לייצור זכרונות MRAM התנגדותיים

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) פיתחה שתי מערכות ייצור שבבים מסוג חדש לחלוטין, המאפשרות לייצר רכיבי זיכרון מסוג MRAM ,ReRAM ו-PCRAM, המיועדים בעיקר לשימוש ביישומי IoT הדורשים זכרונות אמינים, זולים וחסכוניים מאוד באנרגיה. שתי המערכות החדשות הן Endura Clover ו-Endura Impulse. "פלטפורמות Endura החדשות הן המערכות המתוחכמות ביותר לייצור שבבים אשר אפלייד ייצרה אי-פעם", אמר מנהל קבוצת הסמיקונדקטורס באפלייד מטיריאלס, ד"ר פראבו ראג'ה. "הצלחנו לשלב מספר רב של טכנולוגיות הנדסת חומרים במקביל למטרולוגיה ולייצור שכבות ומבנים חדשים, אשר לא התאפשרו עד היום".

מאחורי ההכרזה ניצב משבר בתעשיית רכיבי הזכרון שהתעשייה מחפשת מענה עבורו. הטכנולוגיות הנפוצות כיום לזיכרונות הן Flash NAND ו-DRAM שהומצאו לפני עשרות שנים ונמצאות בכל התקן או מערכת דיגיטלית. אולם הן מתחילות להגיע לקצה גבול יכולת השיפור שלהן. זיכרון פלאש הינו זיכרון בלתי-נדיף השומר על המידע כאשר המכשיר כבה ולכן מצוי בשימוש נרחב באבזרים מבוססי סוללה וביישומים הרושמים ומוחקים כמויות גדולות של מידע, כגון מכשירי מובייל, כונני SSD, התקני USB ועוד. אולם הוא מספק קצב איטי יחסית של כתיבת וקריאת מידע.

תעשיית רכיבי הזיכרון בצומת של קבלת החלטות

לכן ביישומים הדורשים הרצת מידע מהירה כמו למשל בזכרונות מטמון לצד המעבד, נעשה שימוש בזיכרון מסוג DRAM. אולם זהו זיכרון נדיף המאבד את המידע ברגע שהמכשיר כבה. כיום התעשייה מחפשת מענה לדרישות חדשות: זיכרון בלתי נדיף בעל מהירות כתיבה וקריאה גבוהה, קיבולת נתונים (נפח זיכרון) גדולה והספק עבודה נמוך. בשנתיים האחרונות התעשייה מייצרת זכרונות בטכנולוגיית 3D NAND, המאפשרת להציב תאי זיכרון אחד על גבי השני באופן רב-שכבתי (תצורת מגדל), ועל-ידי כך לדחוס יותר קיבולת זיכרון בשבב יחיד.

אולם הההערכה הרווחת היא שתהליכי הייצור של הרכיבים החדשים מורכבים ויקרים מאוד ושרכיבי 3D NAND לא יצליחו לעמוד בדרישות המהירות וצריכת ההספק שהמוצרים החדשים דורשים. על הרקע הזה החל הפיתוח של טכנולוגיות זיכרון חדשות, כשהמובילות הן MRAM, ReRAM ו-PCRAM. אומנם הן מבטיחות יתרונות ייחודיים, אבל הן מבוססות על שימוש בחומרים חדשים שהתעשייה לא מכירה וקשים להתאמה לייצור המוני. לכן הההכרזה החדשה של אפלייד מטיריאלס היא בעלת משקל חשוב.

 

מערכת Endura Impulse לייצור זכרונות PCRAM ו-ReRAM
מערכת Endura Impulse לייצור זכרונות PCRAM ו-ReRAM

התכונות המופלאות של זיכרון מגנטי

זיכרון MRAM הוא זכרון מגנטי (Magnetic Random-Access Memory) ונחשב לזכרון שיכול להחליף את הפלאש. הוא עשוי מחומרים מגנטיים עדינים המשמשים בדרך כלל בכונני דיסקים קשיחים. MRAM הוא זיכרון בלתי-נדיף אבל מהיר מאוד, וככל הנראה צפוי להחליף בשבל הראשון את זכרונות SRAM כזיכרון מטמון רמה 3. ניתן גם לשלב MRAM בשכבות העורפיות של שבבי IoT ובכך להקטין את מימדי השבב ואת העלויות.

כדי לסייע בהעברת MRAM לייצור המוני, חברת אפלייד מטיריאלס הכריזה השבוע על מערכת Endura Clover MRAM PVD הבנוייה משבעה תאי עיבוד נפרדים של פרוסת הסיליקון בתנאי ואקום גבוה. זוהי מערכת ה-300 מ"מ הראשונה בתעשייה לייצור המוני של זכרונות MRAM. היא מסוגלת לשקע עד חמישה חומרים שונים בכל תא. כדי לייצר זכרונות MRAM יש צורך בשיקוע של לפחות 30 שכבות שונות של חומר ברמת דיוק של מספר אנגסטרם בודדים, ובלא להוציא את פרוסת הסיליקון מתא הוואקום כאשר נעשה מעבר משכבה לשכבה או מחומר לחומר.

כדי להבטיח איכות ייצור אופטימלית, המערכת כוללת ציוד מטרולוגיה המשולב בתוך מערכת הייצור, אשר מבצע בדיקת עובי השכבות ברמת דיוק של חמישית אנגסטרם (0.2Angstrom). פלטפורמות הייצור השנייה היא Endura Impulse המיועדת לייצר שבבי זכרון מסוג ReRAM – Resistive RAM, ומסוג PCRAM – Phase-Change RAM. זכרון ReRAM משלב את יתרונות הפלאש (בלתי נדיף) וה-DRAM (מהיר): הוא בלתי נדיף, מהיר, פועל בהספק נמוך ובעל מחזור חיים ארוך.

כיצד מייצרים "זכוכית זוכרת"

טכנולוגיית ReRAM מבוססת על שימוש בחומרים המשנים את התנגדותם החשמלית בתגובה למתח חשמלי (בדומה לנתיך), ועל-ידי כך "זוכרים" את רמת המתח גם לאחר הניתוק ממקור הכוח. טכנולוגיית PCRAM מבוססת על היכולת של גביש זכוכית המזוהם בחומרים מוגדרים, לשנות את מצב הצבירה שלו מגבישי לאמורפי ולהיפך, באמצעות זרם חשמלי. גם הוא בלתי נדיף, מהיר, מאפשר הגדלת כמות באמצעות יצירת מספר שכבות ופחות סובל מזליגות בהשוואה לזכרונות פלאש (הטכנולוגיה נמצאת בשימוש נרחב בדיסקים מסוג DVD).

שני סוגי הזכרון האלה מתחרים על מקומה של טכנולוגיית DRAM. פלטפורמת Endura Impulse כוללת תשעה תאי ייצור תהליכיים בתנאי ואקום, בדומה למערכת Clover. גם כאן מערכת הבקרה והמטרולוגיה משולבת בתהליך הייצור עצמו, ומספקת מדידות של התהליכים ברמת דיוק של 0.2 אנגסטרם כדי להבטיח ייצור ברמת דיוק של אנגסטרמים בודדים.