נובה פיתחה טכנולוגיה לבדיקת שבבים תלת-מימדיים
11 יולי, 2011
מערכת T600 כוללת טכנולוגיה אופטית משולבת הבודקת את השבב בו-זמנית גם באמצעות החזרה רגילה וגם באמצעות ההחזרה של מקור תאורה צדי. אופנהיימר: "המעבר לייצור תלת-מימדי מהווה את המהפיכה המשמעותית הראשונה בתחום ייצור השבבים לאחר 50 שנה"
בקרוב ייצא עידכון לתוכנת NovaMARS, עם תמיכה במערכת T600 החדשה
חברת נובה (Nova Measuring Instruments) מרחובות סיימה את שלב הבדיקות והאופטימיזציה של מערכת חדשה לבדיקת תהליך הייצור של שבבים תלת-מימדיים. המערכת החדשה, T600 Optical Critical Dimension, מאפשרת לבצע בדיקת איכות ייצור של טרנזיסטורים המיוצרים בגיאוטריה של 22 ננומטר ומטה.
המערכת נבדקה אצל יצרן שבבים, ולדברי החברה הציגה ביצועים מצויינים. היא מיועדת להשתלב בקווי הייצור של הטרנזיסטורים התלת מימדיים החדשים, דוגמת FinFET (שעליו מתבססת טכנולוגיית Tri-Gate החדשה של אינטל) וזיכרונות תלת-מימדיים.
המערכת כוללת טכנולוגיה אופטית משולבת הבודקת את השבב בו-זמנית גם באמצעות החזרה רגילה וגם באמצעות החזרה של מקור תאורה צדי. החברה מסרה ששילוב שתי השיטות מאפשרת קבלת מאפייני המבנה התלת-מימדי, גם כאשר מדובר במבנה עמוק מאוד.
החברה מתכננת להוציא לשוק עידכון חדש לתוכנת NovaMARS, שבו ישולבו אלגוריתמים חדשים לתמיכה במערכת T600. סגן נשיא לעסקים בינלאומיים בחברה, איתן אופנהיימר, אמר שהמעבר של התעשייה לייצור תלת-מימדי, "מהווה מהפיכה משמעותית ראשונה לאחר 50 שנה בתחום ייצור השבבים. הטכנולוגיה שפותחה עבור המערכת החדשה מאפשרת לחברה להשתלב בשוק השבבים התלת-מימדי, ולבדוק מבנים מורכבים בגדלים קטנים מ-22 ננומטר".
פורסם בקטגוריות: חדשות , כללי , ציוד בדיקה
כתבות נוספות העשויות לעניין אותך
