אפלייד מטיריאלס רוכשת את Picosun הפינית

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) רוכשת את חברת Picosun Oy הפינית, במטרה להרחיב את הפורופליו שלה בציוד לייצור שבבים מיוחדים. חברת פיקוסאן הוקמה בשנת 1973 והתמחתה בייצור מערכות לביצוע ציפויי Atomic Layer Deposition – ALD. זוהי טכנולוגיה להנחה מדוייקת של ציפויים דקים מאוד באמצעות גאזים. היא משמשת בתעשיות רבות לצורך ציפוי חלקים בשכבה דקה מאוד ואחידה כדי להבטיח תכונות מיוחדות. התכונות המיוחדות חשובות במיוחד בתעשיית השבבים, מכיוון שהן מעניקות לרכיבים יכולות חדשות שבעבר היו מתקבלות בעיקר בעזרת תהליך המיזעור (חוק מור).

החברה תשולב בתוך קבוצת ICAPS של אפלייד, אשר מספקת פתרונות הנדסיים ייעודיים ללקוחות מתחומי התקשורת, IoT, רכב, הספק וחיישנים. מנכ”ל אפלייד מטיריאלס, גרי דיקרסון, אמר שבשוק יש דרישה גוברת לתהליכי ייצור מיוחדים, במיוחד בשוק שירותי הייצור של רכיבים לוגיים. מנהל קבוצת IPCS, סונדר רמאמוטי, אמר שהגידול במספר האבזרים המקושרים מצריך גישות חדשות באופן שבו מתבצע החיבור בין מעגלים לוגיים לבין מעגלים אנלוגיים. חברת פיקוסאן מייצרת ציוד לייצור רכיבי רכיבי MEMS, ציוד לציפוי מוצרים מיוחדים כמו חיישנים ומערכות רפואיות וציוד לביצוע ציפויים מיוחדים של פרוסות סיליקון במסגרת בתהליך ייצור השבבים. מכיוון שהיא חברה חברה פרטית ולא נדרשו אישורים מיוחדים לביצוע העיסקה, מלבד אישור משרד המסחר הפיני, אשר אישר את המיזוג.

אפלייד ישראל פיתחה גישה חדשה לבדיקות שבבים

חטיבת PDC הישראלית של חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) פיתחה קונספט חדש לביצוע בדיקות שבבים במהלך הייצור, אשר מיועד להתמודד עם תהליך מיזעור השבבים ועם הופעת המבנים המורכבים של שבבים תלת מימדיים. החברה מכנה את התפישה החדשה בשם 3D Patterning Control, ונערכת כיום להשקת מערכת בדיקות חדשה ממשפחת VeritySEM, הכוללת מיקרוסקופ אלקטרוני בטכנולוגיית eBeam שפותחה בישראל, אשר מיועד להיות חלק בלתי נפרד מתהליך הייצור.

כך גילה לאחרונה עופר אדן, מנהל קבוצת הדיאגנוסטיקה ובקרת התהליכים בחברת אפלייד מטיריאלס, במסגרת יום הדרכה של החברה לתעשיית השבבים שהתקיים לפני כחודש. מיקרוסקופ ה-eBeam הישראלי מצוייד באלומות בעוצמות שונות: אלומה חזקה מאפשרת מדידה מהירה בעומק של כמה מאות ננומטרים ואלומות בעוצמות משתנות מותאמות לתכונות השבב, כדי שניתן יהיה למדוד מבנים וחומרים הרגישים לקרינת אלקטרונים. אדן הסביר שכדי להמשיך בתהליך מיזעור השבבים, יש להשיג שלושה יעדים מרכזיים: להבטיח שהתבניות במסיכות הליתוגרפיה משוכפלות בדיייקנות על-גבי שכבת החומר הרגיש לאור (photoresist), להבטיח שהתבניות הנצרבות (etched) בשכבת החומר הן אחידות, ולוודא שכל השכבות מיושרות בדייקנות ואין ביניהן הזחה (Overlay).

השקת מערכת VeritySEM חדשה

המטלה הזאת נעשית קשה מיום ליום מכיוון שכדי להמשיך ולמזער את השבבים התעשייה מייצרת מבנים תלת מימדיים מורכבים, דוגמת טרניזסטורי GAA והייצור עובר לשימוש בקרינת Extreme UV בעלת אורך גל קצר מאוד. לדברי אדן, שכבות ה-photoresist בתהליך EUV הן כל כך דקות, שעוצמת האנרגיה של המיקרוסקופ האלקטרוני המשמש למדידת התהליך יכולה לעוות את התבניות.

“אנחנו נערכים להשקת מערכת VeritySEM חדשה עבור תהליכי EUV. פיתחנו טכנולוגיה בעלת אנרגיה נמוכה אשר מקטינה למינימום את ההפרעה ל-photoresist אולם משפרת את הרזולוציה של התמונה המתקבלת. מספר לקוחות כבר משתמשים במערכת הזאת כדי להבטיח עמידה במימדים הקריטיים (CD) בתהליכי EUV ובאחידות התבנית לפני המעבר לשלב הצריבה”.

בניגוד לעבר, כיום תהליך יצירת המסיכות והעברתן לפיסת הסיליקון הוא מרובה-שלבים, ולצורך זה נעשה שימוש במערכת PROVision שהיא מהירה פי עשרה ממערכות SEM. אלא שבתהליכים החדשים, גם המיקרוסקופ האלקטרוני מקבל תפקידים חדשים. “האתגר הגדול ביותר בייצור ברמת EUV הוא הדיוק בהנחת השכבות אחת על השנייה. בעבר הדבר נעשה באמצעות מערכות אופטיות הבודקות מטרות אופטיות המשמשות לכיוונון ויישור המסיכות.

הרעיון שמאחורי 3D Patterning Control

“אבל במציאות החדשה, המטרות האופטיות גדולות פי 10 מהמבנים המיוצרים, בשעה שתהליכים חדשים כמו ריבוי חשיפות ומבנים תלת-מימדיים, מייצרים עיוותי Overlay. קיימת הסכמה בתעשייה שיש צורך במערכות eBeam אשר ישלימו את המערכות האופטיות, אולם התעשייה ממוקדת באיתור סטיות בכל שכבה בנפרד וניצול מערכות eBeam לביצוע תיקונים אופטיים ולא כדי לפתור את בעיות הליבה. אפלייד מטיריאלס מקדמת גישה שונה שאנחנו מכנים בשם 3D Patterning Control.

“היא נועדה לטפל בכל המקורות המייצרים עיוותי תבנית: העשרת תהליך היישור הסטנדרטי באמצעות הוספת מרכיב של מדידות eBeam, ביצוע מדידות עומק מאסיביות של מספר אתרי דגימה שונים על-גבי פרוסת הסיליקון, ואינטגרציה של מדידות 3D שונות אשר מתייחסות אל כל השכבות הקריטיות כאל מערכת אחת. מערכת PROVision eBeam החדשה פותחה במיוחד כדי לספק את הדרישות של 3D Patterning Control. היא כוללת אנרגיות גבוהות החודרות מבעד לשכבות רבות ואת טכנולוגיית Elluminator לקליטת אלקטרונים חוזרים (back-scattered) וליצירת תמונה חדה של מדדים ומימדים בהרבה שכבות בו-זמנית”.

שני מסלולים מקבילים למיזעור שבבים

להערכת סגנית נשיא חטיבת השבבים באפלייד מטיריאלס, רגינה פריד, התעשייה מתקדמת בשני תהליכים נפרדים במקביל: הדרך הקלאסית של הקטנה פיסית של הטרנזיסטורים, ודרך חדשה שקיבלה את הכינוי Design Technology CoOptimization. “טכניקות DTCO מתמקדות בשיפור התכנון של השבב – המטרה היא לבצע תכנון חכם של אבני הבניין בתוך השבב כדי לקבל ביצועים משופרים, ללא קשר לתהליך הליתוגרפיה. על-פי ההערכה של לקוחותינו, בעתיד יהיה המיזעור אחראי לכמחצית מהשיפור, וייעול התכנון יהיה אחראי למחצית השנייה”.

מכירות אפלייד ישראל: מיליארד דולר בשנה

חברת אפלייד מטיריאלס העולמית מעסיקה כ-27,000 עובדים בעולם. חטיבת הבדיקות ומטרולוגיה (PDC) פועלת מישראל במתכונת של חטיבה עצמאית, ומנוהלת על-ידי רפי בן עמי. בשנת 2021 הסתכמו מכירותיה בכ-1 מיליארד דולר. אפלייד מעסיקה כ-2,000 עובדים בישראל. בשנתיים האחרונות היא גייסה מאות עובדים חדשים, ומאז תחילת 2022 היא גייסה כ-200 עובדים נוספים. בסוף שנת 2021 הודיעה אפלייד על הגדלת ההשקעות שלה בארץ והקמת חדרים נקיים חדשים בשטח של כ-3,200 מ”ר בקמפוס החברה בפארק המדע ברחובות. הם מצטרפים לשטח ייצור קיים של כ-4,000 מ”ר.

אפלייד מטיריאלס מגייסת 300 עובדים בישראל

בתמונה למעלה: החדר הנקי החדש של אפלייד מטיריאלס ברחובות

ב-12 החודשים האחרונים צמחו מכירות אפלייד מטיריאלס בישראל (Applied Materials) בכ-68%. לאור התחזית של החברה על המשך הצמיחה, היא מתכננת לגייס 300 עובדים בישראל, בנוסף לכ-2,000 העובדים שהיא מעסיקה כיום. פעילות אפלייד מטיריאלס בישראל מתבצעת באמצעות חטיבת Process Diagnostic and Control – PDC, הפועלת כיחידה עסקית עצמאית אשר מפתחת, מייצרת ומשווקת ציוד לבדיקת איכות הייצור במפעלי שבבים, ומנוהלת על-ידי רפי בן-עמי.

הצמיחה של הפעילות בארץ באה לידי ביטוי גם בהשקעות בתשתית: בסוף 2021 הודיעה אפלייד על הקמת חדרים נקיים חדשים בשטח של כ-3,200 מ”ר בקמפוס של החברה בפארק המדע ברחובות – בנוסף לחדרי הייצור הנקיים הקיימים, בשטח של כ-4,000 מ”ר. נשיא ומנכ”ל אפלייד מטיריאלס העולמית, גארי דיקרסון, אמר שחטיבת PDC הגיע ברבעון האחרון להכנסות שיא. דיקרסון: “ההכנסות ממוצרי eBeam כמעט והוכפלו בתקופה זאת. אנו מצפים לעלות שוב על ביצועי השוק ב-2022 עם צמיחה חזקה במיוחד בתחום הבדיקות האופטיות של פרוסות סיליקון, ושיפור נוסף במכירות של מוצרי ה-eBeam“.

מרכז הפיתוח הגדול ביותר מחוץ לארה”ב

חטיבת PDC מהווה את מרכז המו”פ והייצור הגדול ביותר של חברת אפלייד מטיריאלס מחוץ לארה”ב. בחודש אוקטובר 2021 היא הכריזה על מכונת הבדיקות החדשה PROVision 3E, אשר מאפשרת לבדוק את איכות הייצור של שבבים מתקדמים המיוצרים בתהליך של 3 ננומטר בלבד, ושל איגות הייצור של רכיבי זיכרון תלת-מימדיים. ההכרזה בוצעה לאחר שהחברה מסרה 30 מערכות ליצרנים מהגדולים בעולם של רכיבים לוגיים ושל רכיבי זיכרון מסוג DRAM ו-NAND. המערכת כוללת אלגוריתמי בינה מלאכותית המבצעים מדידות וניתוח כמויות גדולות מאוד של מידע המגיע מקו הייצור.

בתמונה: מכונת הבדיקות החדשה מכונת הבדיקות החדשה PROVision 3E שפותחה ומיוצרת בישראל

המערכת מאפשרת לבצע גם מדידת מימדים קריטיים וגם מדידות הזחה (Overlay) ומותאמת לבקרת הייצור של טרנזיסטורים חדשים הנכנסים היום לתעשייה, מסוג Gate-All-Around. טרנזיסטורי GAA מבוססים על מבנה של “צומת צפה”, שבה השער המבקר את פעולת הטרנזיסטור מקיף את הצומת מכל הכיוונים. המערכת כוללת מיקרוסקופ אלקטרוני ייחודי (eBeam) המצוייד באלומות בעוצמות שונות: אלומה חזקה מאפשרת מדידה מהירה בעומק של כמה מאות ננומטרים ואלומות בעוצמות משתנות מותאמות לתכונות השבב, כדי שניתן יהיה למדוד מבנים וחומרים הרגישים לקרינת אלקטרונים.

המכירות של אפלייד מטיריאלס העולמית צמחו ברבעון הראשון של השנה בכ-21% והסתכמו בכ-6.27 מיליארד דולר. במהלך שנת 2021 צמחו מכירות החברה בכ-34% והסתכמו בכ-24 מיליארד דולר. דיקרסון העריך שהצמיחה תימשך גם בהמשך השנה. “התחזית שלנו ל-2022 היא חיובית מאוד מאחר ומגמות מתמשכות בתעשייה מניעות את השווקים שלנו כלפי מעלה. אנחנו מצויים בעמדה שתאפשר לנו לתפוס נתחי שוק גדולים יותר בתחומים שבהם אנחנו פועלים”.

רפי בן עמי מונה למנכ”ל חטיבת PDC של אפלייד מטיריאלס

בתמונה למעלה: רפי בן עמי (מימין) ועופר גרינברגר

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) הודיעה על מינוי של רפי בן עמי למנכ”ל חטיבת Process Diagnostics and Control – PDC, שהיא מרכז המו”פ והייצור של החברה בישראל. בן עמי ייכנס לתפקיד בתחילת פברואר 2022. הוא מחליף בתפקיד את עופר גרינברגר שכיהן כמנכ”ל PDC בחמש השנים האחרונות.

גרינברגר מונה לדרגת סגן נשיא בכיר בחברה העולמית ויוביל את הפיתוח העסקי של מערכות בקרת תהליכי ייצור שבבים. הוא גם ימשך לשמש כנשיא חטיבת PDC הישראלית, ויתמקד במסגרת הזאת בעיקר בפיתוח עסקי ובקשרי חוץ מול גורמי ממשל והאקדמיה בישראל. רפי בן עמי הצטרף לאפלייד מטיריאלס לפני כ-9 שנים ומילא תפקידי ניהול שונים. בתפקידו האחרון הוא ניהל את מגוון הפעילות המוצרית-עסקית של חטיבת PDC.

לפני שהצטרף לאפלייד מטירילאס, מילא בן עמי תפקידי ניהול בכירים בחברות קומברס ונייס. גרינברג הצטרף לאפלייד מטיריאלס בשנת 2015, לאחר שלשו שנים שבהן ניהל את חברת אורביט מערכות תקשורת מנתניה. לפני-כן שימש כמשך כ-8 שנים כמנכ”ל חברת KLA ישראל, הפועלת ממגדל העמק.

כ-2,000 עובדים בחברת טכנולוגיה מהגדולות בישראל

פעילות אפלייד מטיריאלס ישראל נמצאת בצמיחה כיום היא נחשבת לאחת מחברות הטכנולוגיה הגדולות בארץ: החברה מעסיקה כ-2,000 עובדים והיא נמצאת בתהליך גיוס של 300 עובדים נוספים. חטיבת PDC פועלת כייחדת רווח עצמאית: היא מגדירה, מפחתת, מייצרת ומספקת מערכות מטרולוגיה למעקב ובקרת איכות הייצור של מוליכים למחצה. בשנת 2021 צמחו מכירותיה בכ-60% והגיעו להיקף של יותר ממיליארד דולר. לאחרונה החברה הודיעה על הגדלת תשתית הייצור שלה בפארק המדע ברחובות ועל בניית חדרים נקיים בשטח של כ-3,200 מ”ר, בנוסף לחדרים הנקיים הנוכחיים שהיא מפעליה, בשטח של כ-4,000 מ”ר.

אפלייד מטיריאלס ישראל הכריזה על מערכת בדיקות חדשה המותאמת לשבבי 3 ננומטר

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) הכריזה על מכונת בדיקות חדשה שפותחה ומיוצרת בישראל, אשר מאפשרת לבדוק את איכות הייצור של שבבים בגיאומטריה של 3 ננומטר ושל רכיבי זיכרון תלת-מימדיים. החברה דיווחה שעד היום היא מסרה כבר 30 מערכות ליצרנים מהגדולים בעולם של רכיבים לוגיים ורכיבי זיכרון מסוג DRAM ו-NAND. המערכת החדשה מדגם PROVision 3E system, מבוססת על מיקרוסקופ אלקטרוני ייחודי (eBeam) ועל אלגוריתמי בינה מלאכותית המבצעים מדידות וניתוח בזמן אמת של כמויות גדולות מאוד של מידע המגיע מקו הייצור.

בתהליך ייצור המוליכים למחצה, בונים כמה עשרות שכבות של חומרים בתבניות שונות, אשר ביחד מייצרות את המבנה הסופי של הטרנזיסטורים בשבב. בשיטה המסורתית, בדיקת הדיוק של הנחת השכבות נעשתה באמצעות מדידות אופטיות שבדקו האם הן מונחות במקומן או שיש הזזה הפוגעת באיכות הייצור (overlay). לפני הבדיקה מייצרים “מטרות” על פרוסת הסיליקון (proxy targets) אשר נבדקות על-ידי המערכת האופטית. אולם הגישה הזאת כבר אינה עונה לצרכים: המיזעור של הטרנזיסטורים ביחד עם המעבר לייצור תלת מימדי, מייצרים תופעה של “נקודות מתות” המקשים לקבל מידע אמין על רמת הדיוק של השכבות.

בעבר, מערכות ה-eBeam לא התאימו לבדיקות overlay מכיוון שלמרות דיוקן הרב, הן היו איטיות מאוד. חברת אפלייד מטירילאס מסרה שמערכת PROVision 3E החדשה, היא מספיק מהירה כדי לבצע גם מדידות ישירות וגם מדידות overlay, בין השאר באמצעות ניתוח חכם של כמויות מידע גדולות. היא מגיעה להספק של 10 מיליון מדידות בשעה. מנהל קבוצת בקרת תהליכים באפלייד, קיית’ וולס, אמר שהרזולוציה והמהירות של מערכת PROVision 3E מאפשרות להתגבר על בעיית הנקודות המתות של מערכות בדיקה אופטיות – ולבצע בדיקות של כל שכבה בנפרד ושל כל שכבות הביניים.

מענה לצורכי הבדיקות של טרנזיסטורי GAA החדשים

המערכת החדשה מספקת תמונות ברזולוציה של 1 ננומטר ומותאמת לבקרת הייצור של רכיבי 3 ננומטר ושל הטרנזיסטורים החדשים הנכנסים היום לתעשייה, מסוג Gate-All-Around. טרנזיסטורי GAA מבוססים על מבנה של “צומת צפה”, שבה השער המבקר את פעולת הטרנזיסטור מקיף את הצומת מכל הכיוונים. מערכת 3E החדשה כוללת מיקרוסקופ אלקטרוני עם אלומות בעוצמות שונות: אלומה חזקה מאפשרת מדידה מהירה בעומק של כמה מאות ננומטרים ואלומות בעוצמות משתנות המותאמות לתכונות השבב, כדי שניתן יהיה למדוד מבנים וחומרים הרגישים לקרינת אלקטרונים.

תאומים דיגיטליים בקו הייצור

המערכת פותחה בשלוש השנים האחרונות ונחשפה בחודש אפריל 2021. להערכת החברה, היא מאיצה פי 100 את מהירות המדידה ומשפרת ב-50% את הרזולוציה של מערכות ה-eBeam. היא מאפשרת לקבל יותר ממיליון מדידות 3D בשעה. בין החידושים: מערכת הבינה המלאכותית Actionable Insight Accelerator, אשר אוספת מידע מכל החיישנים בקו הייצור ובונה התאמה בין הנתונים המגיעים מהם לבין המידע הקיים על הטכנולוגיה ועל מבנה השבב המתוכנן.

מערכת הבינה המלאכותית כוללת מודול חדש במתכונת של “תאומים דיגיטליים” (Digital twins) אשר מספק ייצוג דיגיטלי מלא של חלק ממערכות הייצור של חברת אפלייד מטיריאלס העולמית. המודלים האלה מאפשרים לבצע ניסויים וירטואליים בתהליך הייצור, על מנת להגדיר את הפרמטרים היעילים ביותר עבור ייצור השבב הספציפי – עוד לפני שהקו מתחיל לפעול.

אפלייד מטיריאלס ישראל מכפילה את קיבולת הייצור בארץ

בתמונה למעלה: שרת הכלכלה אורנה ברביבאי (במרכז) בחדר הנקי החדש של אפלייד מטיריאלס

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) מגדילה את שטחי הייצור בקמפוס החברה בפארק המדע ברחובות בכ-3,200 מ”ר, בנוסף לחדרים הנקיים הקיימים של החברה, בשטח כולל של כ-4,000 מ”ר. החברה מסרה שעם השלמת התהליך, יוגדל כושר הייצור של החברה בישראל בכ-160%. לאחרונה ביקרה שרת הכלכלה, אורנה ברביבאי, בחדר הנקי החדש בשטח של כ-1,000 מ”ר, שהוא השלב הראשון בפרוייקט הרחבת כושר הייצור בארץ.

אפלייד ישראל פועלת כחברה עסקית עצמאית בבעלות אפלייד מטיריאלס העולמית, אשר אחראית לכל מרחב הפעילות בתחום מערכות בקרת ייצור שבבים: פיתוח, תכנון, ייצור, שיווק ומכירות, ותמיכה בלקוחות באתרי הייצור בארה”ב, באסיה ובאירופה. להערכת החברה, בשנת הכספים 2021 יצמחו מכירותיה בכ-60% ויעברו לראשונה את רף ההכנסות השנתי של 1 מיליארד דולר. בין השאר, החברה מעריכה שבעקבות המחסור הגדול בשבבים המעיק על התעשייה העולמית, בשנים הקרובות יגבר הביקוש לרכישת מערכות ייצור ובקרת שבבים עבור קווי ייצור חדשים שיצרני השבבים מקימים.

לקראת 2,000 עובדים בישראל

כיום החברה מעסיקה כ-1,800 עובדים בישראל, ונמצאת בגיוס מואץ של עוד כ-250 עובדים, בהמשך לכ-300 עובדים חדשים שהצטרפו אליה בשנתיים האחרונות. החברה מסרה שהיא מבצעת רכש בישראל בהיקף של כמיליארד שקל בשנה. נשיא ומנכ”ל אפלייד מטיריאלס ישראל, עופר גרינברגר, אמר שההרחבה המשמעותית של פעילות החברה בישראל, מהווה הבעת אמון גדולה של הנהלת החברה העולמית בביצועים של החברה ובכח האדם האיכותי הישראלי.

אפלייד מטיריאלס מספקת טכנולוגיות ומכונות לייצור שבבים וצגים. החברה בישראל אחראית על תחום מערכות הבדיקה ובקרת תהליכי ייצור שבבים (Process Diagnostics and Control). ברבעון השלישי של 2021 צמחו מכירות אפלייד העולמית בכ-41% והסתכמו בכ-6.2 מיליארד דולר. נשיא ומנכ”ל החברה, גארי דיקרסון, אמר שהפעילות בישראל היא אחד ממנועי הצמיחה של החברה. “אנחנו רואים ביצועים גבוהים בתחום אבחון תהליכים ובקרה, שבו אנחנו מצפים לצמוח ביותר מ-60% בשנת 2021”.

למידע על אפשרויות תעסוקה בחברה: אפלייד מטיריאלס ישראל

אפלייד מטיריאלס ישראל מגייסת 250 עובדים

מרכז הפיתוח והייצור של אפלייד מטיריאלס ברחובות

בתמונה למעלה: בניין אפלייד מטיריאלס ישראל בפארק המדע ברחובות

חברת אפלייד מטיריאלס ישראל הנמצאת בבעלות אפלייד מטיריאלס העולמית (Applied Materials), החלה בפרוייקט גיוס 250 עובדים נוספים. בשנתיים האחרונות גייסה החברה מרחובות כ-300 עובדים, וכיום היא מעסיקה כ-1,800 עובדים בישראל. חברת אפלייד מטיריאלס העולמית מספקת טכנולוגיות ומכונות לייצור שבבים וצגים. החברה בישראל אחראית על פיתוח, ייצור ושיווק מערכות בדיקה ובקרת תהליכי ייצור שבבים (Process Diagnostics and Control).

הפעילות של אפלייד בישראל מנוהלת על-ידי עופר גרינברגר ומתבצעת במתכונת של חטיבה עסקית עצמאית, היא כוללת פעילויות ותפקידים מקצועיים וניהוליים שונים התמוכים מכל שרשרת התכנון הפיתוח והמכירות, כולל: מפתחי תוכנה, אלגוריתמים, פיזיקאים, מהנדסי חומרה, מהנדסי בקרה, FPGA, מערכת, אפליקציה, GPS ואינטגרציה, אנשי תפעול וייצור, שיווק, רכש, תכנון ועוד.

ברבעון השליש של 2021 צמחו מכירות אפלייד העולמית בכ-41% והסתכמו בכ-6.2 מיליארד דולר. נשיא ומנכ”ל החברה העולמית, גארי דיקרסון, אמר שהפעילות בישראל היא אחד ממנועי הצמיחה של החברה. “אנחנו רואים ביצועים גבוהים בתחום אבחון תהליכים ובקרה, שבו אנחנו מצפים לצמוח ביותר מ-60% בשנת 2021”.

למידע נוסף על אפשרויות תעסוקה בחברה: אפלייד מטיריאלס ישראל

אפלייד מטיריאלס ישראל מגייסת 200 עובדים חדשים

בתמונה למעלה: קמפוס אפלייד מטיריאלס ישראל בקרית המדע ברחובות

חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials) החלה בקמפיין גיוס של 200 עובדים ועובדות חדשים במסגרת תהליך הצמיחה שלה בארץ. אפלייד מטיריאלס ישראל מפתחת ומייצרת מערכות בקרת ייצור (Process Diagnostics and Control) עבור תעשיית השבבים. כמעט כל השבבים בעולם עברו בתהליך ייצורם דרך המכונות שלה. החברה מנוהלת על-ידי עופר גרינברגר וכיום היא מעסיקה כ-1,750 עובדים, לאחר שבשנה האחרונה היא גייסה יותר מ-100 עובדים חדשים.

הגיוס הנוכחי ממוקד במפתחי תוכנה ואלגוריתמים, פיזיקאים, מהנדסי חומרה בתחומי המכניקה, בקרה, FPGA, מהנדסי מערכת, מהנדסי יישומים, GPS ואינטגרציה, אנשי שיווק, רכש, תכנון ועוד. המנכ”ל גרינברג אמר שהגיוס המאסיבי משקף את הביקוש הגובר לפתרונות הייחודיים של החברה. נשיא ומנכ”ל החברה העולמית, גארי דיקרסון, אמר לאחרונה שהחברה מצפה להגדיל את היקף המכירות בישראל בכ-50% בשנת 2021, ולהגיע להיקף מכירות של יותר מ-900 מיליון דולר רק ממערכות ה-eBeam, שהן מערכות בדיקת שבבים המבוססות על טכנולוגיית קרן אלקטרונים סורקת (מיקרוסקופ אלקטרוני) שפותחה בישראל.

ברבעון השני של שנת הכספים (שהסתיים ב-2 במאי 2021) הסתכמו מכירות אפלייד העולמית בכ-5.58 מיליארד דולר. תחזית המכירות לרבעון השלישי היא של 5.92 מיליארד דולר. דיקרסון העריך שהמכירות ימשיכו לעלות, “הודות למגמות ביקוש ארוכות טווח של מוליכים למחצה, ומשום שהמומחיות של החברה היא בהנדסת חומרים שהם קריטיים לטכנולוגיות שבבים חדשות”.

אפלייד מטיריאלס פיתחה גישה חדשה לבקרת ייצור שבבים

חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials), אשר אחראית לתחום מערכות בקרת הייצור (Process Diagnostics and Control) של שבבים בחברת אפלייד מטיריאלס העולמית, חשפה תפישה חדשה (Playbook) של תהליך הבדיקות והבקרה אחר תהליכי ייצור, המבוססת על יצירת ביג דטה, הפעלת מערכת בינה מלאכותית לומדת, וחידוש טכנולוגי בתחום מערכות הבדיקה האופטית. הגישה החדשה פותחה בחברה במהלך חמש השנים האחרונות והמערכות הראשונות נמסרו ללקוחות.

המערכת מבוססת על מערך הבנוי משלושה מרכיבים מרכזיים: מיקרוסקופ אלקטרוני חזק ממשפחת SEMVision הנחשב למערכת ה-eBeam המתקדמת בעולם מסוגה, מערכת Enlight לבדיקה אופטית של פרוסות הסיליקון (Wafer) תוך כדי הייצור, ומערכת מחשוב חדשה, ExtractAI, המבוססת על מחשב מהיר שפותח בחברה, הכולל אלגוריתמים מתקדמים ותוכנת בינה מלאכותית ייעודית.

מערכת הבדיקה האופטית מייצרת סריקה מהירה וכללית של פרוסת הסיליקון, מערכת הבינה המלאכותית מזהה אזורים חשודים כבעייתיים ומפנה אליהם את המיקרוסקופ האלקטרוני לבדיקה נקודתית ברזולוציה גבוהה. התוצר חוזר אל מערכת המחשוב הלומדת, אשר מזהה את התופעות שניצפו ומסווגת את הפגמים שהתגלו.

סגן נשיא אפלייד מטיריאלס ישראל, רפי בן-עמי. "לפני חמש שנים זיהינו מגמה חדשה בתעשייה"
סגן נשיא אפלייד מטיריאלס ישראל, רפי בן-עמי. “לפני חמש שנים זיהינו מגמה חדשה בתעשייה”

סגן נשיא ומנהל קבוצת המוצרים בחברת אפלייד מטיריאלס ישראל, רפי בן-עמי, סיפר ל-Techtime שהעבודה על התהליך החדש החלה בשנת 2015, לאחר שהחברה זיהתה מגמות חדשות בתעשייה הדורשות תהליכי בדיקות וניתוח מסוג חדש. בן-עמי: “תהליך הייצור נעשה מסובך יותר: נכנסו חומרים חדשים, התבצע מעבר למבנים תלת ממדיים, הטכנולוגיות הממוזערות החדשות דורשות שימוש ביותר מסיכות ונעשה מעבר מ-Single Patterning ל-Multi Patterning. כל אלה מגדילים משמעותית את מספר השלבים ואת הסיבוכיות של תהליך הייצור. התוצאה היא שקשה יותר לזהות את הפגמים הקטלניים. בנוסף, אירועי ייצור שבעבר נחשבו לקבילים – יכולים כיום ‘להרוג’ את המעבד”.

בינה מלאכותית וביג דטה

“החלטנו לפתח גישה חדשה המבוססת על יצירת ביג דטה ומערכת לימוד מכונה, מכיוון שהפקת תובנות מביג דטה היא אחת מהדרכים היעילות ביותר להתמודד עם סיבוכיות גבוהה. בשלב הראשון היה צורך במערכת המייצרת כמות גדולה של מידע. לצורך זה פיתחנו את מערכת Enlight לבדיקת פרוסות הסיליקון (Optical Wafer Inspection).

“זוהי מערכת יוצאת דופן מכיוון שהצלחנו לשפר את השליטה בכיווניות האור, להאיר אזורים קטנים יותר ולשלב בתוכה שני גלאים הפועלים במקביל ומאפשרים איסוף אור משתקף ואיסוף אור מתפזר (Darkfield ו-Brightfield), ועל-ידי כך להפיק הרבה יותר מידע בכל ריצה. המידע הזה, בהיקפים של Giga Pixels, מועבר בזמן אמת למערך המחשוב שפיתחנו, המבוסס על שילוב של מעבדי GPU, CPU ו-DSP, אשר מריץ את מערכות עיבוד המידע ואת תוכנת הבינה המלאכותית ExtractAI“.

“התוכנה מייצרת בזמן אמת מפת פגמים איכותית ומידע לפעולה (Actionable Data) בעזרת המיקרוסקופ האלקטרוני SEMVision G7, אשר גם שימש כדי לאמן אותה. הבדיקה האופטית היא מהירה מאוד אבל הרזולוציה שלה לא מאפשרת לבצע סיווג פגמים. הרזולוציה של המיקרוסקופ האלקטרוני גבוהה פי 100, ומאפשרת סיווג פגמים מדויק – אולם הוא איטי פי 1,000. לכן המערכת האופטית אחראית על גילוי אתרים חשודים, אשר נבדקים על-ידי המיקרוסקופ האלקטרוני. הוא מחזיר את המידע למערך המחשוב, שם המידע מנותח על-ידי תוכנת ExtractAI, אשר מפיקה מפה נקייה של תקלות מסווגות”.

התוכנה לומדת להתעלם מ”רעשים”

“זוהי מערכת משתפרת: לאחר האימון הראשוני היא לומדת כל אירוע חדש המתגלה בקו הייצור. זהו הפתרון היחיד בתעשייה שמכיל את הבינה הדרושה לא רק כדי לזהות ולסווג פגמים קריטיים, אלא גם להסתגל לשינויים בתהליך בזמן אמת. היא פותרת את הבעיה הקשה ביותר בבדיקת איכות פרוסות הסיליקון: היכולת להבחין במהירות ובמדויק בין פגמים ממשיים לבין מיליוני אותות חסרי משמעות (רעש). לכן  אנחנו מתכננים להטמיע את ExtractAI גם במערכות נוספות שלנו”.

הקונספט החדש והמפתיע מסביר מדוע נשיא ומנכ”ל אפלייד מטיריאלס העולמית, גארי דיקרסון, העריך לאחרונה שפעילות בקרת הייצור (Process Diagnostics and Control) שעליו אחראית אפלייד ישראל, תצמח ב-2021 ביותר מ-25%, “הודות למוצרי בדיקות אופטיות ו-eBeam הנמצאים נמצאים בשלבים הראשונים של אימוץ”. בן-עמי: “מערכת Enlight היא מהמוצרים המוצלחים שלנו גם לפני הוספת ExtractAI. היא יצאה לשוק ב-2019 ועד לרבעון הראשון השנה הסתכמו מכירותיה ביותר מ-400 מיליון דולר. זהו קצב החדירה לשוק המהיר ביותר של מערכת שלנו”.

יותר מ-100 משרות פנויות בישראל

“מערכת SEMVision היא המערכת המובילה בשוק לבדיקות eBeam כבר יותר מ-20 שנה, עם כ-1,500 מערכות המותקנות אצל יצרני שבבים בעולם”. חברת אפלייד מטיריאלס ישראל פועלת מרחובות ומעסיקה כ-1,700 עובדים. כיום היא מגייסת עובדים בקצב מואץ, עם יותר מ-100 משרות הפתוחות כעת – בעיקר בתחומי התוכנה, אלגוריתמים, הנדסה, אינטגרציית מוצר ועוד. היא פועלת במתכונת של חטיבה עסקית עצמאית האחראית על התכנון והפיתוח, הייצור, השיווק והמכירות והתמיכה בלקוחות.

מכירות אפלייד מטיריאלס ישראל צמחו ב-46%

בתמונה למעלה: מנכ”ל אפלייד מטיריאלס ישראל, עופר גרינברג (מימין) ונשיא ומנכ”ל החברה העולמית, גרי דיקרסון

בסיום שנת הכספים 2020 (שהסתיימה בחודש אוקטובר 2020), התברר שהמכירות של חברת אפלייד מטיריאלס ישראל צמחו ב-46% והשיגו שיא של כל הזמנים. החברה לא מסרה מה היה היקף המכירות. עופר גרינברגר, מנכ”ל אפלייד מטיריאלס ישראל, אמר: “היקף הפעילות העסקית של אפלייד מטיריאלס ישראל צמח באופן משמעותי מעל השוק והניב הכנסות שיא של כל הזמנים בשנת הכספים 2020, כל זאת תוך התמודדות עם סביבה מאתגרת בשל המגיפה. המוצרים שאנו מפתחים ומייצרים כאן בישראל מאפשרים ללקוחותינו הגלובליים להביא שבבים מתקדמים לשוק מהר יותר, דבר המניע את הצמיחה של טכנולוגיות חדישות כגון AI, מחשוב עתיר ביצועים ו-5G”.

חברת אפלייד מטיריאלס העולמית מספקת טכנולוגיות ומכונות לייצור שבבים וצגים. החברה בישראל אחראית על פיתוח, ייצור ושיווק מערכות בדיקה ובקרת תהליכי ייצור שבבים (Process Diagnostics and Control). כמעט כל השבבים המיוצרים בעולם עוברים במהלך הייצור דרך מכונות הבדיקה הישראליות. כיום החברה מעסיקה בארץ כ-1,700 עובדים. בשנה האחרונה היא גייסה כ-200 עובדים, וכיום היא מגייסת עשרות עובדים נוספים, במיוחד בתחומי התוכנה, אלגוריתמים, הנדסה, אינטגרציית מוצר ועוד.

ביצועי שיא לאפלייד מטיריאלס העולמית

מכירות אפלייד מטיריאלס העולמית צמחו ברבעון האחרון של 2020 בכ-25% בהשוואה לרבעון המקביל אשתקד והסתכמו בכ-4.7 מיליארד דולר. היקף המכירות השנתי הסתכם בכ-17.2 מיליארד דולר- בהשוואה ל-14.6 מיליארד דולר אשתקד. נשיא ומנכ”ל אפלייד העולמית, גרי דיקרסון, אמר שהחברה סיימה את שנת 2020 עם ביצועי שיא, “הודות לביקוש הגבוה למערכות ושירותי מוליכים למחצה. ההזדמנויות העתידיות שלנו נראות טובות מתמיד הודות למגמות טכנולוגיות עוצמתיות המתגבשות כיום”.

ביחס למוצרים הישראלים, אמר דיקרסון: “תחום הבדיקות שלנו רשם ביצועי שיא, עם גידול של 46% בהכנסות השנה. יש לנו ביקוש משמעותי מלקוחות מובילים וזכייה בנתחי שוק בתחום הבדיקות האופטיות וטכנולוגיות הE-beam עם מוצרים חדשים שעדיין נמצאים בשלבי אימוץ ראשונים. המערכת הזאת יכולה לראות פרטים שאף מערכת E-beam אחרת בעולם לא מסוגלת לראות”.

דיקרסון: יותר מידע פירושו יותר שבבים

דיקרסון הסביר בשיחת הוועידה שלאחר פרסום הדו”חות, מדוע להערכת החברה מכירותיה ימשיכו לצמוח בשנים הקרובות: “כאשר מסתכלים על העשור הבא, אנחנו מצויים בנקודת שינוי שבה נוצרת תעשייה בהיקף של טריליוני דולרים המסתמכת על חידושים בתחום הנדסת החומרים, והתפתחויות טכנולוגיות כמו למשל AR/VR. אולם נקודת התפנית החשובה ביותר היא הבינה המלאכותית.

“לבינה המלאכותית השפעה עצומה על שוק השבבים. היא דוחפת את התעשייה ממערכות מוכוונות יישומים אל מערכות מוכוונות נתונים, אשר יעבדו את כל המידע הקיים בעולם. למגמה הזו יש שתי השלכות חשובות מאוד: הצמיחה של התעשייה כבר לא תוגבל על-ידי היכולת של האדם לצרוך ולייצר מידע, ושנית, יש צורך בכמות עצומה של מחשבים כדי לעבד את כל המידע הרב”.

גארי דיקרסון: הכנסות אפלייד מטיריאלס מהפעילות בישראל – יותר ממיליארד דולר ב-2020

המכירות של אפלייד מטיריאלס ישראל, הנמצאת בבעלות אפלייד מטיריאלס העולמית, צפויות לצמוח השנה בכ-40% ולהגיע להיקף כולל של יותר ממיליארד דולר (ממכירת מוצרים ושירותים). כך גילה נשיא ומנכ”ל החברה, גארי דיקרסון, במהלך שיחת הוועידה שלאחר פרסום הדו”ח הרבעוני. בסך הכל, ברבעון הפיננסי השלישי של 2020 (שהסתיים ביולי) צמחו מכירות החברה העולמית בכ-23% והסתכמו בכ-4.4 מיליארד דולר. תחזית החברה היא למכירות בהיקף של כ-4.6 מיליארד דולר ברבעון האחרון של 2020.

החטיבה הישראלית עוסקת בפיתוח, ייצור ושיווק מערכות בדיקה לקווי ייצור שבבים במסגרת חטיבת PDC. להערכת החברה, כמעט כל השבבים בעולם עברו בתהליך הייצור דרך מכונות של החברה המיוצרות בישראל. בתשובה לשאלה של אחד מהאנליסטים, אמר דיקרסון  שהפעילות של אפלייד ישראל נמצאת בצמיחה הגבוהה ביותר בענף בתחום הזה. לדבריו, לצד ההצלחה בשוק, הטכנולוגיות של PDC גם מסייעות לאפלייד מטיריאלס עצמה לשפר את מערכות ייצור השבבים שהיא בונה.

מנועי הצמיחה הישראלים: בדיקה אופטית ומיקרוסקופ אלקטרונים

דיקרסון: “שני מנועי צמיחה מרכזיים עומדים מאחורי העלייה במכירות של PDC: הראשון הוא מערכת בדיקות אופטית חדשה שכבר הניבה מכירות בהיקף של כמה מאות מיליוני דולרים השנה. אנחנו נמצאים רק בשלבים הראשונים של השקת המערכת וצופים עלייה במכירות. מדובר במערכת הנמצאת בקו הייצור עצמו, ולכן יש צורך במספר רב של מערכות בתהליך השלם. המערכת זוכה להצלחה אצל הלקוחות המובילים שלנו הנמצאים בתהליך שידרוג מדד ה-PPAC שלהם (Power, Performance, Area and Cost).

מיקרוסקופ אלקטרוני לבדיקת שבבים מתוצרת אפלייד מטיריאלס ישראל
מיקרוסקופ אלקטרוני לבדיקת שבבים מתוצרת אפלייד מטיריאלס ישראל

“מנוע הצמיחה השני מבוסס על מערכת ה-e-beam שהשקנו השנה (מיקרוסקופ אלקטרוני לבדיקת השבבים שיוצרו). למערכת הזאת יש כיום את הרזולוציה הגבוהה ביותר בתעשייה. היא מספקת שיפור של 60% בהשוואה למערכות קודמות והיא מהירה מאוד. זהו פתרון חשוב מאוד ללקוחות המפתחים טכנולוגיות חדשות לייצור טרנזיסטורים וזכרונות. טכנולגיית ה-e-beam החדשה צפויה לבסס אותנו כחברה המובילה בתחום הזה בשוק בעשור הקרוב”.

חברת אפלייד מעסיקה כ-1,700 עובדים בחטיבה הישראלית הפועלת מרחובות. בשנה האחרונה היא גייסה כ-250 עובדים חדשים. פרוייקט הגיוס עדיין נמשך, והיא מגייסת עובדים חדשים בעיקר בתחומי התוכנה, אלגוריתמים, הנדסה, אינטגרציה של מוצר וכדומה.

סבב מינויים באפלייד מטיריאלס ישראל

בתוך כך, החברה הודיעה עם סבב מינויי בכירים בישראל: סמנכ”לית משאבי האנוש ומנהלת משאבי האנוש הגלובלית בחטיבת Image processing Control, רחל פישביין קליינר, מצטרפת להנהלת משאבי אנוש העולמי של אפלייד מטיריאלס, המעסיקה כ- 22 אלף איש ברחבי העולם. היא תוביל ארגון חדש בשם Global HR Business Partners and Services, שתפקידו לספק למנהלים בחברה כולה כלים לניהול HR מתוך שותפות עסקית חזקה ומיקוד בתחום אסטרטגי זה. רחל תמלא את התפקיד הגלובלי מישראל.

מימין לשמאל: רחל פישביין קליינר (צילום: יח"צ), ריקי אלוני ודיוויד בלום (צילום: דרור סיתהכל)
מימין לשמאל: רחל פישביין קליינר (צילום: יח”צ), ריקי אלוני ודיוויד בלום (צילום: דרור סיתהכל)

במקומה מתמנה ריקי אלוני לתפקיד סמנכ”לית משאבי האנוש של אפלייד מטיריאלס ישראל. ריקי הצטרפה לאפלייד לפני כ- 20 שנה ומילאה שורה ארוכה של תפקידים בתחומים מגוונים לרבות אנליסטית עסקית, מנהלת פרוגרמות וראש מטה. בעשור האחרון התמקדה ריקי בתחום משאבי האנוש בתפקידי ניהול מגוונים בשיתוף פעולה עם יחידות עסקיות שונות בחברה.

דיוויד בלום מונה לתפקיד סמנכ”ל השיווק של PDC ויהיה אחראי על בניית האסטרטגיה השיווקית, מחקרי שוק, מנהלי שיווק המוצרים השונים ועוד. לתפקיד זה חשיבות מיוחדת לאור העובדה שאפלייד ישראל פועלת כיחידה עסקית עצמאית. בשנים האחרונות שימש דיוויד כיועץ לחברה בנושאי אסטרטגיה ושיווק. דייוויד החל את הקריירה שלו כמהנדס באינטל ולאחר מכן, ביצע שורה של תפקידי ניהול בחברת KLA, בעיקר בעמק הסיליקון.

מאגד המטרולוגיה הישראלי MDM השיג פריצות דרך עולמיות

בתמונה למעלה: ד”ר דורון משולח מאפלייד מטיריאלס, יו”ר מאגד Multi-Dimentional Metrology 

בכנס הסיכום של המאגד הישראלי לפיתוח טכנולוגיות תשתיתיות בתחום המטרולוגיה (MDM – Multi-Dimensional Metrology) של ייצור שבבים שהתקיים לפני כשבועיים, התברר ששיתופי הפעולה בין החברות הישראליות והאקדמיה הולידו פיתוחים חדשניים ברמה עולמית, באחד מתחומי הטכנולוגיה הקשים והמאתגרים בתעשיית ייצור שבבים.

יו”ר המאגד, ד”ר דורון משולח, מנהל טכנולוגיות ושיתופי פעולה אסטרטגיים בחברת אפלייד מטיריאלס ישראל, חשף נתונים על תעשיית המטרולוגיה הישראלית. ההשקעות במערכות המטרולוגיה המשמשות בקווי הייצור של השבבים הינן בהיקף של כ-12%-10% מההשקעות בציוד הייצור. מדובר בשוק גדול, הצפוי לגדול בשנים הקרובות, עקב הגידול הצפוי בהשקעות בתשתיות ייצור שבבים. להערכת חברת גרטנר, בשנת 2020 יגיע היקף השוק העולמי קרוב ל-5.6 מיליארד דולר, ויצמח להיקף של כ-7 מיליארד דולר בשנת 2024. לדברי דר משולח, כיום פועלות בישראל חברות מטרולוגיה בעלות משקל משמעותי בתחום, וביחד ישראל אחראית לכשליש מהשוק בעולם.

התעשייה דורשת פתרונות מטרולוגיה חדשים

חברות המטרולוגיה הגדולות בישראל לתעשיית השבבים הן אפלייד מטיריאלס ישראל, נובה, KLA, ברוקר וקמטק. ההערכה היא כי ביחד הן מעסיקות באופן ישיר כ-3,300 עובדים ובסך הכל מספקות למשק כ-10,000 משרות. חברות מטרולוגיה ישראליות רוכשות מספקים מקומיים מוצרים ושירותים בהיקף שנתי של כ-350 מיליון דולר. כמו-כן, מקיימות החברות שיתופי פעולה עם האקדמיה, התורמים לשיתוף והעברת ידע בין האקדמיה לתעשייה.

תעשיית ייצור השבבים מתקדמת בקצב גבוה: כדי לעמוד בצרכים הגוברים, נמשך המאמץ להקטין ולצופף את ההתקנים, לשפר את ביצועיהם ולהקטין את צריכת ההספק שלהם. כמו כן, משתמשים גם בחומרים חדשים ומפתחים מבנים תלת-ממדיים עם גיאומטריות מורכבות. למשל, הטרנזיסטורים המתקדמים המיוצרים כיום הם תלת-ממדיים ורכיבי זיכרון מתקדמים גם הם תלת-ממדיים ובנויים מעשרות שכבות. כל אלה מהווים אתגרים לביצוע מדידות ובדיקות בקרת איכות הייצור בקווי הייצור, אתגרים הדורשים מענה כדי שקווי הייצור יוכלו להמשיך לייצר ביעילות ובתפוקות גבוהות.

על הרקע הזה הוקם מאגד MDM בשנת 2017 במסגרת תכנית מגנ”ט ברשות החדשנות. במישור האסטרטגי, מטרת המאגד הייתה להבטיח שתעשיית המטרולוגיה הישראלית תשמור על מעמד מוביל בעולם, בפרט לדורות החדשים של שבבים. במישור הטכנולוגי, מטרתו הייתה לבחון את ההיתכנות הטכנולוגית של מגוון רעיונות חדשים, ובכלל זה של טכנולוגיות המבוססות על היתוך מידע המגיע ממספר מקורות מידע.

במאגד השתתפו החברות אפלייד מטיריאלס ישראל, אינטל, נובה, ברוקר, ננומושן, אל-מול וננוניקס. מהאקדמיה השתתפו קבוצות מחקר מאוניברסיטאות בר אילן, בן גוריון, תל אביב, ממכון וייצמן ומהטכניון. עדיין מוקדם להעריך את ההצלחה האסטרטגית של המאגד, מכיוון שזמן הפיתוח של טכנולוגיות חדשות בתעשיית המטרולוגיה הוא ארוך מאוד ודרושות כ-5-10 שנים לפיתוח והטמעת מוצר חדשני בשוק. זמן הפיתוח הארוך והאתגרים הטכנולוגיים הם חסרון אבל יש להם גם יתרון. דר משולח: “אמנם הקושי הטכנולוגי, הסיכון וזמן הפיתוח הארוך מעמידים רף כניסה גבוה מאוד המקשה על כניסת שחקנים חדשים, אך הרווח ממוצרים חדשניים הינו גבוה“.

היתוך מידע המגיע מ-SEM, מ-OCD ומקרינת X-Ray

במישור הטכנולוגי הציג המאגד הצלחה יוצאת דופן: בשנה השלישית בוצעו 13 פרויקטים שהניבו 16 מאמרים אקדמיים ו-5 פטנטים הנמצאים בשלבים שונים של תהליכי רישום. ד”ר משולח: “פותח בין היתר גלאי השדה המגנטי הקטן והטוב ביותר מסוגו בעולם לשיפור ביצועי מיקרוסקופ אלקטרונים סורק, פותחה שיטה שהודגמה על מיקרוסקופ מסוג  Atomic Force Microscope – AFM המהיר מסוגו בעולם, פותחו אלגוריתמים מסוג חדש של לימוד מכונה וטכנולוגיות חדשניות נוספות. מספר פרויקטים ושיתופי פעולה ימשיכו גם לאחר סיום פעולת המאגד”.

ד”ר שי וולפלינג, סמנכ”ל טכנולוגיות (CTO) של חברת נובה, הסביר כיצד לימוד מכונה פותח אפשרויות חדשות בעולם המטרולוגיה. נובה מייצרת מערכות מדידה אופטיות המודדות גדלים בקו הייצור ((In-line. מדובר במדידה עקיפה: מאירים על מבנים בפרוסה באור עם ספקטרום רחב של אורכי גל, וחיישנים אוספים את האור המוחזר מהפרוסה (ספקטרום) ומודדים בכל אורך גל את העוצמה. במקביל, המערכת בונה מודל גיאומטרי תלת-ממדי משוער של המבנה הנבדק, ובאמצעות פתרון של משוואות מקסוול המתארות את החזר האור מהמבנה מחשבים את הספקטרום המוחזר הצפוי. משווים בין הספקטרום המדוד למחושב, ומבצעים שינויים במודל הגיאומטרי עד לקבלת התאמה מספקת בין הספקטרום הנמדד לספקטרום המחושב.

ד”ר וולפלינג: “כיום אנחנו מתחילים להשתמש בטכנולוגיה של לימוד מכונה. אם יש לנו סיגנל (ספקטרום) ויש לנו מדידת ייחוס כלשהי – אז במקום לפתור את משוואת מקסוול, אנחנו יכולים לחבר בין הספקטרום לבין מדידות הייחוס. הקצב בו התעשייה מאמצת פתרונות מטרולוגיה אופטית מבוססי לימוד מכונה (ML) מכפיל את עצמו בכל שנה. היתרון בפיתוח ואימוץ טכנולוגיות אלה, הוא הגברת רגישות האות, וקבלת תפוקה טובה יותר מבלי לפגוע ברמת הדיוק המטרולוגית. בנוסף, כיוון שמחזורי הפיתוח אצל הלקוחות קצרים יותר, קצב הטמעת הפתרונות חייב להתקצר בהתאם, והטמעת פתרונות מבוססי לימוד מכונה היא מהירה יותר מאשר הטמעה של פתרונות מבוססי מודלים פיסיקלים.

השילוב בין מודלים פיסיקליים מסורתיים עם יכולות לימוד מכונה, יחד עם קישוריות לביג דאטה, צפוי לשפר את היכולות המטרולוגיות בשנים הבאות. בתחום הזה הציגו צוותים מאפלייד מטריאלס ונובה הישג מרשים, כאשר הם קישרו בין מיקרוסקופ אלקטרונים סורק SEM של אפלייד מטיריאלס המשמש למדידת ייחוס, לבין מכונות המדידה האופטית מסוג OCD של נובה. הם הראו כיצד תוך שימוש באלגוריתם לימוד מכונה ניתן לשערך גדלים על-פני הפרוסה כולה בזמן קצר מאד, דבר שלא ניתן היה לעשות בכלים הקיימים כיום, גישה המאפשרת יישומים חדשים.

שיתוף פעולה דומה התקיים בין אפלייד מטיריאלס לבין חברת ברוקר שבמסגרתו שולבו מדידות ממכונות בדיקה מבוססות X-Ray של ברוקר עם מדידות ייחוס המגיעות ממיקרוסקופ אלקטרונים סורק SEM של אפלייד מטיריאלס. על-ידי כך הצליחו הצוותים מאפלייד מטריאלס וברוקר לשחזר באופן מדויק יותר את המבנה התלת-מימדי של דגמים גבוהים וצרים מאוד של זכרונות תלת-ממדיים ובהם חורים שעומקם גדול פי 50 מקוטרם.

חברת אל-מול פיתחה בשיתוף עם נובה ומכון וייצמן את גלאי היונים הטוב ביותר מסוגו בעולם, ובמכון וייצמן בשיתוף עם נובה פותחה שיטת מדידה אופטית המאפשרת זיהוי שכבות דקות שונות על פרוסה הנבדלות זו מזו בריכוזים קטנים מאד של הרכב חומרים.

מיקרוסקופ AFM המהיר בעולם והמגנטומטר הקטן והרגיש בעולם

שיתוף פעולה נוסף הביא לפיתוח שיטת בקרה למכשירAtomic Force Microscope – AFM בעל יכולות חסרות תקדים. מיקרוסקופ AFM נחשב למדויק מאוד לביצוע מדידות פני-שטח, אולם הוא איטי מאד. בשיתוף פעולה בין הטכניון, נאנומושן ואפלייד מטריאלס, פותחה והודגמה שיטת הנעה ובקרה מסוג חדש, המאפשרת מדידה ברזולוציה תת-ננומטרית במהירות סריקה גבוהה. מכלול ההנעה פותח על-ידי נאנומושן ואלגוריתם הבקרה שפותח בטכניון יושם בכרטיס FPGA מסחרי מהיר.

התוצאה: מיקרוסקופ AFM המאפשר מדידה של פני-שטח ברזולוציה גבוהה ובמהירות גבוהה, ומדידה תלת-ממדית של מבנים ברזולוציה נמוכה יותר אולם עדיין מהירה בקנה מידה תעשייתי. שיתוף פעולה נוסף בין נובה, נאנומושן ובר אילן  בנושא ראמן הוליד מכלול הגברה ייחודי של מיקרו-מהוד שפותח על-ידי חברת נאנומושן.

קבוצות אחרות מבר אילן ובן גוריון, ובשיתוף עם אפלייד מטריאלס פיתחו את גלאי השדה המגנטי הקטן והרגיש מסוגו בעולם. הוא נועד להתמודד עם בעיה מפתיעה: מערכות המטרולוגיה במפעלי הייצור נמצאות בסביבות עבודה בהן השדות המגנטיים נמוכים מאד, אולם לעיתים בסביבת העבודה נוצרות הפרעות מגנטיות בלתי צפויות. אלה עלולות לגרום להסטה בלתי רצויה של קרן האלקטרונים בתוך מיקרוסקופ אלקטרונים סורק SEM, כאשר גם שדות מגנטיים קטנים מאוד יכולים לגרום לעיוות התמונה ולפגוע במדידה.

במסגרת הפרוייקט, פותח חיישן המבוסס על תופעת Planar Hall Effect. הוא בנוי מחומר פרו מגנטי אשר משנה את התנגדותו למעבר זרם כפונקציה של שינויים בשדה המגנטי. באמצעות תכנון מיוחד ושימוש ברכזי שטף מגנטי, בנו החוקרים מבר אילן ובן גוריון גלאי זעיר, בגודל של כ-15 על 15 על 3 מ”מ בעל רגישות של 5 פיקו טסלה לשורש הרץ – פי 10 מהחיישן מסוג זה הרגיש ביותר בעולם. חברת אפלייד מטיריאלס בוחנת את ביצועי הגלאי וכיצד ניתן לשלב אותו בתוך מערכות SEM של החברה, וזאת על-מנת למדוד את ההפרעות בשדה המגנטי ולבצע תיקונים של מיקום קרן האלקטרונים הסורקת.

הדוגמאות האלה הם רק חלק קטן מהישגי המאגד. המדען הראשי במשרד הכלכלה והתעשייה ויו”ר רשות החדשנות, ד”ר עמי אפלבאום, ברך את המשתתפים בכנס הנעילה של המאגד, ואמר שהוא הוכיח שחברות ישראליות מתחרות יכולות לשתף פעולה בפיתוח טכנולוגיות גנריות משותפות. “כשרואים את מה שהצלחתם לעשות, חייבים להודות שהדבר אפשרי”, אמר.

אפלייד מטיריאלס פיתחה שיטה חדשה לייצור מגעים בשבב

בתמונה למעלה: שיטת הייצור החדשה (מימין) בהשוואה לאופן הייצור המסורתי של מגעי טרנזיטורים

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) פיתחה טכנולוגיית מוליכים חדשה לקישור הטרנזיסטורים בשבב, המאפשרת להקטין את שטח השבב מבלי לעבור לשימוש בטכנולוגיית צומת זעירה יותר. טכנולוגיית Selective Tungsten מקטינה את ההתנגדות החשמלית של המוליכים ועל-ידי כך מאפשרת להקטין את צריכת ההספק הכוללת של המעגל, להשתמש במוליכים קטנים יותר ולצמצם את הפגיעה בביצועי הטרנזיסטור, הנגרמת עקב ההתנגדות החשמלית של המוליכים.

להערכת החברה, המוליכים החדשים מסייעים להמשיך במגמת המיזעור, ולייצר טרנזיסטורים ברוחב צומת של 5 ננומטר, 3 ננומטר ואף פחות. בתהליכי הייצור המסורתיים, מגעי הטרנזיסטור מיוצרים בתהליך הכולל הנחת מספר שכבות חומר. בתחילה מניחים שכבת הדבקה המייצרת פרופיל של נקב. היא מכוסה בשכבת ציפוי פנימית, עליה מניחים שכבת בידוד ואז מניחים שכבת חומר מגבש. לאחר מכן החלל שנוצר ממולא בטונגסטן, שהוא חומר המגע המועדף בזכות התנגדותו הנמוכה.

חתך רוחב של שבב המציג את מיקום מגעי הטרנזיסטורים. מקור: techinsights.com
חתך רוחב של שבב המציג את מיקום מגעי הטרנזיסטורים. מקור: techinsights.com

בתהליך ייצור של 7 ננומטר, קוטר המגע הוא 20 ננומטר בלבד, כאשר שכבות ההגנה וההדבקה תופסות כ-75% מנפח המוליך, ומשאירות רק 25% מהנפח למתכת המוליכה עצמה. בתיל כל-כך דק, מתפתחת התנגדות חשמלית גבוהה מאוד הגורמת לפגיעה בביצועי השבב ומקשה על הקטנת שטחו הכולל. זהו צוואר בקבוק מרכזי בתהליך מיזעור השבבים. חברת אפלייד מטיריאלס הכריזה השבוע על מכונת הייצור החדשה, Endura Volta Selective Tungsten, המייצרת מוליכים בטכנולוגיית Selective Tungsten.

החברה מסרה שמספר יצרני שבבים כבר הצטיידו במכונה החדשה. חברת אפלייד מטיריאלס מייצרת ציוד לייצור שבבים וצגים. ברבעון הפיננסי השני שהסתיים באפריל 2020, הסתכמו מכירותיה בכ-3.96 מיליארד דולר, בהשוואה לכ-3.54 מיליארד דולר ברבעון המקביל אשתקד. כ-56% מהמכירות היו של ציוד לייצור שבבים לוגיים ושל ציוד אחר שנמכר לקבלני ייצור שבבים.

 

אפלייד מטיריאלס: תוצאות שיא לחטיבה הישראלית

בתמונה למעלה: גארי דיקרסון על-רקע מפעל אפלייד מטיריאלס ברחובות

ברבעון השני של השנה הפיננסית שלה, אשר הסתיים באפריל 2020, הסתכמו המכירות של חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) בהיקף שיא של כ-3.96 מיליארד דולר, המהוות גידול של 12% בהשוואה לרבעון המקביל אשתקד. “למרות שהמצב עדיין נזיל”, אמר נשיא ומנכ”ל אפלייד מטיריאלס, גארי דיקרסון, ביחס למשבר הקורונה,שרשרת האספקה שלנו מתאוששות והביקוש היסודי לציוד ולשירותים שלנו לתעשיית המוליכים למחצה נותר איתן”.

גם בישראל הגיעה אפלייד לשיא של כל הזמנים. החברה מפעילה בארץ את חטיבת PDC, המפתחת ומייצרת מערכות בדיקה ובקרה לתעשיית השבבים (Process Diagnostics and Control). החברה מעריכה שכמעט כל השבבים בעולם עברו בתהליך הייצור דרך המכונות של אפלייד מטיריאלס המיוצרות בישראל. לדברי דיקרסון, “פעילות PDC הניבה הכנסות שיא במחצית הראשונה של השנה. אחד התורמים המרכזיים לשיא הזה היא מערכת הבדיקה האופטית החדשה שלנו, שתושק רשמית בהמשך השנה”.

מוצר מהפכני שפותח בישראל

לדבריו, “תחום הבדיקות והמדידה הוא אחד מהתחומים שבהם יש לנו את התנופה החזקה ביותר. זהו אחד מתחומי הצמיחה החזקים ביותר עבורנו השנה. מרכיב חיובי נוסף בעסקי ה-PDC שלנו נמצא במערכות מבוססות קרן אלקטרונים (e-beam). שם יש לנו עמדת מובילות חזקה וגם כמה יכולות חדשות, עם טכנולוגיית ההדמיה ברזולוציה הגבוהה ביותר בתעשייה לצד אימוץ ראשוני חזק מאוד אצל לקוחות מובילים. חטיבת PDC מתחילה נהדר את שנת 2020. הייתי אומר שאנו בעמדה הטובה ביותר שהייתה לנו אי-פעם בתחום הזה”.

אפלייד ישראל מגייסת עובדים

מרכז הפיתוח והייצור של החברה, המעסיקה בישראל כ-1600 עובדים, נמצא בפארק המדע ברחובות. בשנה האחרונה גייסה החברה 250 עובדים וגם בימים אלה היא ממשיכה גם הימים אלו בגיוס עובדים ועובדות חדשים בעיקר בתחומי התוכנה, אלגוריתמים, הנדסה, אינטגרציית מוצר ועוד. במסגרת התהמודדות של החברה עם מגיפת הקורונה, אף עובד לא הוצא לחל”ת ולא פוטר, החברה ממשיכה לשלם לכל העובדים שכר מלא.

עובדים שנאלצו להיכנס לבידוד לא היו צריכים לנצל ימי מחלה וקיבלו שכר מלא בתקופת הבידוד. החברה הודיעה שהיא ממשיכה לשלם באופן מלא לספקי השירותים בארץ, על-מנת שגם כ-800 העובדים שאינם מועסקים באופן ישיר על ידה, ימשיכו לקבל שכר מלא. זאת, על אף שחלק גדול מהם אינו נדרש להגיע לעבודה בקמפוס החברה ומרבית עובדי אפלייד עובדים מהבית.

אחד מזוכי פרס וולף: רפי ביסטריצר מקבוצת האלגוריתמים של אפלייד מטיריאלס ישראל

מנהל בכיר בקבוצת האלגוריתמים של חברת אפלייד מטיריאלס ישראל (Applied Materials), ד”ר רפי ביסטריצר, קיבל השבוע הודעה מפתיעה ומשמחת: הוא נבחר לקבל את פרס וולף לפיסיקה ביחד עם פרופ’ אלן מקדונלד מאוניברסיטת טקסס באוסטין ופרופ’ פבלו הררו מהמכון הטכנולוגי של מסצ’וסטס, עבור מחקר תיאורטי שביצע בשנת 2011. פרס וולף נחשב לאחד מהפרסים החשובים ביותר בעולם המדעי. הוא מדורג כשני בחשיבותו לאחר פרס נובל: כשליש ממקבלי פרס וולף קיבלו לאחר-מכן גם את פרס נובל.

במסגרת הפוסט דוקטורט שלו, ביסטריצר ומקדונלד חקרו מבנה מיוחד של גרפין (Graphene), שהוא חומר שהופק לראשונה בשנת 2004. מדובר בעצם בשכבה יחידה של גרפיט: מבנה שטוח המורכב מאטומי פחמן המסודרים במערך של משושים (תמונה למטה). הם ביצעו מחקר תיאורטי שבמהלכו הם חזו שהנחת שתי שכבות גרפין סמוכות (במרחק של כמה ננומטרים אחת מהשנייה) ובזווית של 1.1° זו מזו, תיצור חומר בעל תכונות מיוחדות, שעשוי לאפשר בניית סוג חדש של מוליך-על.

כאשר האלקטרון מתנהג כמו פוטון

פרופ’ פבלו הררו בדק את הרעיון, והצליח לבצע סדרת ניסויים שאימתו את התחזית של מקדונלד וביסטריצר. כיום משמש ביסטריצר כמנהל קבוצת האלגוריתמים בחברת אפלייד מטירילאס ישראל, אשר מפתחת מערכות לבדיקת איכות הייצור ואיתור תקלות בקווי ייצור שבבים (מטרולוגיה), ומתמקד בפיתוח אלגוריתמים לאיתור תקלות בשבבים תלת-מימדיים (3D). בראיון ל-Techtime הוא סיפר על חשיבות המחקר ומהותו, ובמה הוא עוסק כיום.

ביסטריצר: “המחקר שביצענו שייך לפיסיקה של מצב מוצק, שזהו התחום המנסה להבין את הפאזות של החומר בטבע, כלומר איך החומרים מתנהגים בתנאים שונים. המושג פאזות מתייחס לתכונות כמו הולכה, בידוד, מיגנוט, הולכת-על וכדומה. התחום הזה החל בעקבות גילוי התופעה של פסי אנרגיה, שממנה התפתחה טכנולוגיית המוליכים למחצה (סמיקונדקטורס)”.

הדמיית המבנה של גרפין. צילום: ויקיפדיה
הדמיית המבנה של גרפין. צילום: ויקיפדיה

מדוע התמקדתם בגרפין?

“לגרפין יש תכונות אלקטרוניות מדהימות. האלקטרונים בו מתנהגים כמו פוטונים וזה מייצר תופעות קוונטיות ותכונות הולכה מאוד מעניינות. אפשר לצפות בתופעות קוונטיות מסויימות אפילו בטמפרטורת החדר. המטרה היתה לפתח מערכת המאפשרת לחקור בצורה מאוד נקייה ויחסית קלה את הפאזות האלה של מצב מוצק.

“הבעיה היא שכיום ההבנה שלנו בתחום מוליכי העל ותופעות מצב מוצק דומות היא מוגבלת מכיוון שקשה מאוד לבצע ניסויים במערכות האלה. ברעיון שהגדרנו ניתן לשלוט בתכונות המערכת הזאת באמצעות שליטה בצפיפות האלקטרונים. באנרגיות גבוהות זהו דבר שקשה לעשות, אבל במקרה שלנו כל מה שצריך לעשות זה לשנות את המתח על-פני שתי שכבות הגרפין”.

מהו הגילוי העיקרי שלכם, ומה המשמעות שלו?

“הראינו שבאופן די מפתיע, ולא לגמרי מובן, בתחום של זוויות קטנות בין שני משטחי גרפין, מהירות האלקטרונים קטנה בהדרגה וכשמגיעים לזווית של 1.1° היא נעצרת כמעט לחלוטין. כלומר, במצב הזה תכונות החומר לא נקבעות על-ידי מהירות האלקטרונים אלא על-ידי האינטראקציה ביניהם. ואז מתחוללים דברים מעניינים. קיווינו שהדבר יתבטא באמצעות מוליכות על. כרגע מתבצעים בעולם מחקרים רבים המנסים להבין מדוע בזווית הזאת נוצר מוליך-על בגרפין. ראו גם תופעות מעניינות כמו מעבר חד בין מבודד למוליך-על, המזכיר מאוד מוליכים מחצה. למעשה, מתג אידיאלי”.

מטרולוגיה על גבול הבלתי אפשרי

כאשר סיים את שלב הפוסט דוקטורט ביסטריצר חזר לארץ והשתלב בתעשייה. הוא הצטרף לחברת אספקט אימג’ינג וממנה עבר למדטרוניקס ישראל, שבהן עסק במחקר ופיתוח של מערכות MRI. לפני כארבע שנים הצטרף לחברת אפלייד מטיריאלס ישראל, שבה הוא עוסק בניהול קבוצת אלגוריתמים לגילוי תקלות ייצור. “בתור תיאורטיקן, היה לי רצון לעבור לתחום האלגוריתמיקה”.

כיום הוא אחראי באפלייד על שני תחומים: גילוי תקלות בגודל של ננומטרים בודדים באמצעות שימוש במיקרוסקופ אלקטרוני (Electron Beam Inspection), ומטרולוגיה של שבבים תלת מימדיים (3D). “עד עכשיו מדדנו רכיבים שטוחים, אולם כיום, בגלל הקושי למזער את השבבים, בונים אותם לגובה. זהו אתגר מדהים. כמעט על גבול הבלתי אפשרי. החלוקה לתחומים כמו פיסיקה וטכנולוגיה היא לעתים מלאכותית. אני רוצה להתעסק בבעיות מעניינות, והיום אני עובד על בעיות מאוד מעניינות”.

אפלייד מטיריאלס רוכשת את קוקוסאי היפנית ב-2.2 מיליארד דולר

חברת אפלייד מטיריאלס (Applied Materials) חתמה על הסכם לרכישת כל המניות של חברת Kokusai Electric היפנית תמורת כ-2.2 מיליארד דולר במזומן. עם השלמת העיסקה, תפעל קוקסאי כיחידה בתוך חטיבת מוצרי הסמיקונדקטורס של אפלייד מטיריאלס ותמשיך לפעול מהאתרים הנוכחיים שלה בטויאמה, יפן ובשיונאן, קוריאה.

העיסקה צפויה להיות ריווחית מהרגע הראשון. במידה והעיסקה לא תצא אל הפועל עקב מחדל של אפלייד מטיריאלס, היא תשלם פיצויים בגובה של 154 מיליון דולר. חברת קוקוסאי מתמחה במערכות ייצור שבבים בשיטת ייצור המבוססת על טיפול במספר פרוסות בו-זמנית (batch processing) במתקנים לייצור זכרונות ומעגלים לוגיים. המערכות האלה משלימות את המערכות של אפלייד מטיריאלס, הממוקדות בטיפול בפרוסות בודדות (single-wafer processing systems).

העיסקה אושרה על-ידי הדירקטוריונים של שתי החברות וצפויה להסתיים בתוך 12 חודשים. קוקסאי פועלת מטוקיו ומעסיקה כ-1,900 עובדים. החברה דיווחה שהיא בחרה באפליד מטיריאלס כשותף אסטרטגי, בזכות המומחיות שלה בהנדסת חומרים והיכולת לצמוח באמצעות שילוב קווי המוצר וצוותי הפיתוח שלה ביחד עם הצוותים הטכנולוגיים ומערך השיווק וההפצה של אפלייד מטיריאלס.

הרבעון הטוב של אפלייד מטיריאלס

החברה נמצאת למעשה על המדף קרוב לשנתיים. חברת אפלייד מטיריאלס רוכשת את מניות בעלות השליטה בחברה מקרן ההשקעות KKR, אשר רכשה אותה לפני כשנתיים מחברת היטאצ’י תמורת 2.2 מיליארד דולר. קוקוסאי מספקת ציוד ייצור לענקיות שבבים כמו מיקרון, SK Hynix וטושיבה. מכירותיה בשנת 2018 הסתכמו בכ-1.24 מיליארד דולר.

חברת אפלייד מטיריאלס נחשבת ליצרנית ציוד ייצור השבבים הגדולה בעולם. מכירותיה ברבעון השני של 2019 (שהסתיים בחודש אפריל), הסתכמו בכ-3.54 מיליארד דולר, בהשוואה למכירות של 4.58 מיליארד דולר ברבעון המקביל אשתקד. העיסקה השפיעה לטובה על מניית אפלייד בנסד”ק, שעלתה בשבוע האחרון מ-42.13 דולר לכ-44.93 היום, ולשווי שוק של כ-42 מיליארד דולר.